教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
113-2	342187	半導體尖端設備與關鍵元件	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所 半導體學位學程	118	1	限40人；{教室:教務處安排}

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒　教師諮商時間(Office Hours)
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-02-03 21:14:27
課程大綱	本課程沿續「積體電路製程先進技術與設備」課程，介紹半導體世代機台開發與製程應用、關鍵元件設計概念與應用，著重科學基礎知識如何應用在半導體產業。 As an extension of “Processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing” course, this course focuses on how the scientific knowledge is connected and applied to the real development of tools and introduces the evolution of the design and application of semiconductor tools and key components.
課程進度	Week 上課時間 Course W1 02/19 先進光刻機演進與製程應用 W2 02/26 光阻塗佈&顯影機台演進與製程應用 W3 03/05 爐管機台演進與製程應用 W4 03/12 PVD機台演進與製程應用 W5 03/19 運動會 W6 03/26 濕蝕刻機台演進與製程應用 W7 04/02 磊晶機台演進與製程應用 W8 04/09 Dry/turbo pump/Cryo pump W9 04/16 Chemical filter W10 04/23 期中考 W11 04/30 乾蝕刻機台演進與製程應用 W12 05/07 CMP機台演進與製程應用 W13 05/14 Metrology 機台設計與量測應用 W14 05/21 Plasma generator system W15 05/28 離子植入機台演進與製程應用 W16 06/04 潔淨室AMC/VOC氣體連續監測系統 W17 06/11 Mass Flow Controller W18 06/18 期末考
評量方式與標準	1.出席率：20% 2.期中考：40% 3.期末考：40%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自訂教材
課程諮詢管道	聯絡方式：E-mail: tsf@ntut.edu.tw 討論地點：綜科館423室
課程對應SDGs指標	SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
課程是否導入AI
備註	聯絡方式：E-mail: tsf@ntut.edu.tw; 分機：2043 上課及討論網址：https://meet.google.com/yqd-aiha-qit