教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
112-1	323394	奈米材料與科技	1	3.0	3	★	李文亞	化工四甲 化工四乙 化工四丙 化工三甲 化工三乙 化工三丙	46	1	請安排先鋒大樓教室;網路預選限25人(大學部);大三四化

教學大綱與進度：

教師姓名	李文亞　教師諮商時間(Office Hours)
Email	wenyalee@ntut.edu.tw
最後更新時間	2023-05-23 10:16:46
課程大綱	奈米科技與半導體製程技術在近年來受到極大的重視，因此在本課程將介紹半導體基礎與最新的奈米技術，內容包含有基礎電子電路學與半導體製程，以及奈米材料(如奈米碳管、石墨烯、二維奈米材料等)，期許可以帶給同學當今最新的奈米化技術與半導體相關之科技知識。 Nanotechnology and semiconductor manufacturing processes have received significant attention in recent years. Therefore, this course will introduce the fundamentals of semiconductors and the latest nanotechnology. The content includes basic electronic circuitry and semiconductor manufacturing processes, as well as nanomaterials such as carbon nanotubes, graphene, and two-dimensional nanomaterials. The aim is to provide students with the latest knowledge in nanotechnology and semiconductor-related technologies.
課程進度	第一周 半導體產業鏈與奈米科技介紹 第二周 半導體物理 第三周 基本電學 第四周 半導體製程: 矽晶圓處理 第五周 半導體製程: 氧化擴散 第六周 半導體製程: 黃光微影 第七周 半導體製程: 離子佈植與電漿 第八周 半導體製程: 蝕刻製程 第九周 期中考 第十周 半導體製程: 化學氣相沉積CVD 第十一周 半導體製程: 金屬化製程與物理氣相沉積 PVD 第十二周 半導體製程: 化學機械研磨CMP 第十三周 半導體製程: 半導體製程整合 & IC製程技術 第十四周 半導體製程: 先進半導體元件 第十五周 奈米科技: 富勒烯 第十六周 奈米科技: 奈米碳管 第十七周 奈米科技: 石墨烯 第十八周 期末考
評量方式與標準	小考與平時表現 30% 期中考 30% 期末考 40%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 1. 蕭宏, "半導體製程技術導論"`, 第三版, 全華圖書 2. UMESH K. MISHRA, JASPRIT SINGH, "Semiconductor Device Physics and Design", Springer
課程諮詢管道	可以用email聯絡或是在google classroom上討論。
課程對應SDGs指標
備註	授課方式會使用google classroom，若因疫情有任何變化，會在google classroom上跟大家說明