教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-1	317620	半導體設備元件基礎	1	2.0	2	★	林懷恩	機電學院(研)	1	0	密集授課,至台積電,詳教學大綱

教學大綱與進度：

教師姓名	林懷恩　教師諮商時間(Office Hours)
Email	linhe@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-12-20 18:33:43
課程大綱	協助學員在完成訓練後: 1.對半導體設備元件原理與作用有基礎的了解 2.對半導體設備實務工作有初步的了解 3.能結合學校所學理論與產業實務。 After completing the training, the trainees will: 1.Have a basic understanding of the principles and functions of semiconductor equipment components. 2.Have a preliminary understanding of what an equipment engineer does in Fab. 3.Be able to combine the theories learned from the school with industrial practices.
課程進度	Week1 Transfer(1) 1. EFEM元件動作與功能 介紹 2. Robot動作原理與校正 3. Load port Transfer(2) 1. 前開式晶圓傳送盒 (FOUP)的種類與演進 2. TSMC- Load port 3. 晶圓震動感測器 Week 2 Gas/MFC 1. 質量流量控制器(MFC) 介紹 2. 氣體過濾器(Gas filter) 3. MFC校正實作 Chemical 1. 流體幫浦介紹 2. 化學過濾器的種類與原理 3. 化學材料介紹 4. Chemical valve Week 3 Plasma 1. 電漿的形成原理 2. 電漿設計的種類與原理 3. DC bias原理 4. 電漿的應用 Temperature 1. 溫度作用與元件種類 2. Chiller/ Heat-changer 3. 致冷晶片/ 冷卻液種類 4. 靜電力吸盤(ESC)原理與作用簡介 Week 4 Specialty 1. 塗佈(Coating)技術介紹 2. 光放射光譜(OES)原理 與應用 3. e-Sensor 4. 電離器介紹 Vacuum 1. 幫浦原理 2. 壓力量測原理 3. Valve原理 4. O-ring介紹
評量方式與標準	成績評量由台積電訓練中心提供通過與否及訓練成績做為參考依據。
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 台積電自製內部教材
課程諮詢管道	上課時間向台積電專業人員諮詢
備註	因應疫情發展，本學期教學及授課方式請依照學校網頁所公布之訊息為準： (https://oaa.ntut.edu.tw/p/404-1008-98622.php?Lang=zh-tw) 本課程施作方式依照台積電內部管理方式進行，因無法補課且牽涉公司內部商業機密，無法提供線上教材。個人缺席無法補課，如公司因疫情停課，會另尋時間開設。