教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-2	316639	半導體尖端設備與關鍵元件	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所 製科所	90	0	機電所和製科所合開,請教務處安排教室,限40人

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒　教師諮商時間(Office Hours)
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-12-15 20:01:52
課程大綱	本課程沿續「積體電路製程先進技術與設備」課程，介紹半導體世代機台開發與製程應用、關鍵元件設計概念與應用，著重科學基礎知識如何應用在半導體產業。 As an extension of “Processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing” course, this course focuses on how the scientific knowledge is connected and applied to the real development of tools and introduces the evolution of the design and application of semiconductor tools and key components.
課程進度	Week Course W1 先進光刻機演進與製程應用 W2 光阻塗佈&顯影機台演進與製程應用 W3 爐管機台演進與製程應用 W4 PVD機台演進與製程應用 W5 Pressure gauge/RGA/MFC/RPS introduction W6 Pressure gauge/RGA/MFC/RPS introduction W7 清明節(休假) W8 Dry/turbo pump/Cryo pump W9 期中考 W10 濕蝕刻機台演進與製程應用 W11 Chemical filter and concentration control W12 RF generator/matcher and robot transfer W13 CMP機台演進與製程應用 W14 Metrology機台設計與量測應用 W15 離子植入機台演進與製程應用 W16 磊晶機台演進與製程應用 W17 潔淨室AMCVOC氣體連續監控系統 W18 期末考
評量方式與標準	1.出席率：20% 2.期中考：40% 3.期末考：40%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自訂教材
課程諮詢管道	教師諮商時間：每週三上午9:00-12:00 聯絡方式：E-mail: tsf@ntut.edu.tw 討論地點：綜科館423室
備註	與半導體設備商共授課程 因應疫情防疫規定，可能調整教學方式：遠距教學 使用教學軟體：Microsoft Teams