教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-2	316381	微機電工程與應用	1	3.0	3	★	呂志誠	機械三甲 機械三乙	30	1	機械三甲乙合開,限40人

教學大綱與進度：

教師姓名	呂志誠　教師諮商時間(Office Hours)
Email	cclu23@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-12-22 19:02:32
課程大綱	先修課程: 負責教授同意。本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料分類、主要製程技術介紹、封裝與測試技術、微感測器與微致動器、工程應用實例介紹
課程進度	1. 概述 2. 微機電系統與微系統概論 3. 微系統的工作原理 4. 微系統設計和製造的工程科學 5. 微系統工程力學 6. 熱流工程和微系統設計 7. 微小化的縮放律 8. 微機電系統和微系統用材料 9. 期中考 10. 微系統設計 11. 微製造技術 12. 微機電系統製程介紹 13. 微系統封裝 14. 實習 – 微蝕刻製程 15. 實習 – 光微影製程 16. 實習 – MEMS模擬技術 17. 期末報告
評量方式與標準	期中考 : 40 % 期末報告: 40 % 實習與上課表現: 20 %
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 Tai-Ran Hsu, MEMS & Microsystems Design and Manufacture，McGraw-Hill, ISBN-978-957-493-7769. (中文版) 微機電系統與微系統設計與製造
課程諮詢管道	本課程將以北科i學園plus做為課程輔助網頁，並另設line群方便同學聯繫與討論。
備註	1.如有加退選或課程問題請寄email給老師(cclu23@mail.ntut.edu.tw)。 2.因應COVID-19疫情可能會調整授課方式、進度與評量方式。若無法實體上課，預計使用Google Meet於原定上課時間遠距上課，細節將再另行公布。