教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-2	315093	真空設備專論	1	3.0	3	★	陳澤興	訓四能四	18	1

教學大綱與進度：

教師姓名	陳澤興　教師諮商時間(Office Hours)
Email	tzershing.chen@ntut.edu.tw
最後更新時間	2023-03-04 14:04:26
課程大綱	近年來由於台灣在半導體、平面顯示器、光電、薄膜、低溫冷凍、生物科技及微奈米技術等產業的蓬勃發展，因而帶動了真空設備相關產業，進而對真空科技及其專業人才需求日殷。本課程將針對上述產業所使用的相關真空設備進行講解及討論，包含有真空蒸鍍系統、真空濺鍍系統、真空冷凍乾燥系統、電漿蝕刻真空系統、真空熱處理系統、表面分析技術等，將使學生具備真空設備理論及實務的相關知識與技能。 The vacuum industry is growing fast in the past two decades because of the highly growing of the high-tech industries including semiconductor, optics-electrics, communication, MEMS, and nano-technology. Therefore, a lot of students need to know the vacuum system described previously. This program will introduce vacuum systems including vacuum evaporating system, vacuum sputtering system, vacuum drying system, vacuum plasma etching system, surface analysis.
課程進度	第01週 : 真空概論 (真空的定義、氣體分子動力原理) 第02週 : 真空系統計算 (真空系統、氣導、抽氣速率) 第03週 : 真空幫浦 (分類、種類介紹、小考1) 第04週 : 真空度量 (真空度量分類、各式真空計介紹、流量計) 第05週 : 真空材料概論 (金屬與非金屬、真空封合) 第06週 : 真空系統設計 (設計通則、不同真空的系統設計、小考2) 第07週 : 真空測試與測漏 (真空測漏概念、真空測漏方法) 第08週 : 真空標準與校正 (真空標準規範、真空計校正程序、小考1~2講解) 第09週 : 期中考 第10週 : 真空冷凍乾燥系統 (原理、系統設備、應用實例) 第11週 : 真空鍍膜系統 (熱電阻式、電子束、離子濺射) 第12週 : 真空冶金系統 (基礎、工業製程、小考3) 第13週 : 真空熱處理系統 (構造、理論基礎、維護與保養) 第14週 : 電漿蝕刻真空系統 (原理、系統設備、操作規範) 第15週 : 加速器真空系統 (設計要點、不同加速器介紹、小考4) 第16週 : 表面分析儀Ⅰ(表面分析與超高真空、設備) 第17週 : 表面分析儀Ⅱ(真空表面分析系統、小考3~4講解) 第18週 : 期末考
評量方式與標準	1.出缺席狀況 (20 %) → 無故缺席扣3% /次 (向教務處請事病假扣1%/次) 2.期中考 (30 %) 3.期末考 (30 %) 4.小考4次 (20 %)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 使用教材: 個人自編之講義 參考書目: 1.真空技術、作者:蘇青森 出版商：台灣東華圖書 三版（年月）75年5月。 2.真空技術與應用、作者:陳建人 出版商：行政院國家科學委員會精密儀器發展中心 一版（年月）90年7月。
課程諮詢管道	1. 課程諮詢時間Office hour: 綜合科館研究室611-4 每周一 (第A節 : 18:30~19:20) 請同學要事先跟老師預約時間 2. 開學後組成線上群組Line group discussion: to be announced.
備註	因應疫情發展，本學期教學及授課方式請依照學校網頁所公布之訊息為準： (https://oaa.ntut.edu.tw/p/404-1008-98622.php?Lang=zh-tw) 本學期課程因應疫情警戒上課方式，請依照學校網頁所公布之訊息為準： 遠距上課授課及評量方式說明如下： 1. 上課方式：線上會議室 Google Meet 2. 課程資訊 line群組: to be announced. 3. 評量方式：期中考、期末考改採自主測驗(take home exam)加線上口試。