教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-2	314416	半導體製程技術導論	1	3.0	3	★	陳美杏	光電所 電資外生所	16	0

教學大綱與進度：

教師姓名	陳美杏　教師諮商時間(Office Hours)
Email	mhchen@mail.ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-12-21 09:58:40
課程大綱	導論、積體電路生產介紹、半導體基礎、晶圓製造、加熱製程、微影蝕刻、電漿的基礎原理、離子佈植、化學氣相沉積與介電質薄膜、金屬化製程、化學機械研磨、製程整合、CMOS 製程 Introduction、Introduction to IC Fabrication、Semiconductor Basics、 Wafer Manufacturing、Thermal Processes、Photolithography and Etch、 Plasma Basics、Ion Implantation、CVD and Dielectric Thin Film、 Metallization、CMP 、Process Integration、CMOS Processes
課程進度	Introduction to IC Fabrication ( 1 week ) Semiconductor Basics ( 2 weeks ) Wafer Manufacturing ( 1 week ) Thermal Processes ( 2 weeks ) Photolithography and Etch ( 1 week ) Plasma Basics ( 2 weeks ) Ion Implantation ( 1 week ) CVD and Dielectric Thin Film ( 2 weeks ) Metallization ( 1 week ) CMP ( 1 week ) Process Integration ( 1 week ) CMOS Processes ( 1 week )
評量方式與標準	Attendance : 10 % Midterm: 30 % ( close book ) Final term：30 % (close book ) Presentation：30 % (15 minutes presentation per person)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Introduction to semiconductor manufacturing technology
課程諮詢管道	TA time
課程對應SDGs指標
備註	According to the CDC announcement, if the situation reaches the Level 2 COVID-19 alert, the students can attend class via logging into Microsoft Teams ( please use your student account). And then, choose the course "Introduction to semiconductor manufacturing technology", you can attend the meeting online.