教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-1	308930	IC 製程	1	3.0	3	★	林懷恩	機械四甲 機械四乙 機械四丙	78	3	◎/限50人/機械四甲乙丙合開

教學大綱與進度：

教師姓名	林懷恩　教師諮商時間(Office Hours)
Email	linhe@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-05-26 14:22:43
課程大綱	積體電路為現今社會最重要之高科技產業，本課程將提供學生半導體材料、物理性質、製程原理及元件架構等之基本概念，課程內容共分為四個部分：(1) 半導體材料與物理、(2) 半導體元件及基本概念、(3) 積體電路五大製程與設備、(4) 積體電路故障與檢測。
課程進度	第1週 09/12 課程內容簡介 第2週 09/19 晶體結構與矽半導體物理特性、半導體能帶與載子傳輸、化合物半導體晶體結構與物理特性 第3週 09/26 半導體基礎元件、接面能帶圖與費米能階、積體電路製程與佈局 第4週 10/03 半導體元件縮小化與先進奈米元件、高速與高功率元件、半導體光電元件 第5週 10/10 國慶日 第6週 10/17 矽晶棒生長、矽晶圓製作、化合物半導體晶棒生長、矽磊晶生長、矽磊晶系統 第7週 10/24 化合物半導體磊晶生長、矽氧化膜生長、矽氧化膜生長機制 第8週 10/31 校慶慶祝大會暨園遊會補假 第9週 11/07 期中考Middle examination 第10週 11/14 擴散理論、離子佈植 第11週 11/21 微影技術、蝕刻技術 第12週 11/28 化學氣相沉積、金屬接觸與沉積(真空技術、合金退火)、積體電路封裝 第13週 12/05 可靠度與功能性檢測(電磁干擾、靜電效應)、材料特性檢測(表面型態、晶體結構、組成分析) 第14週 12/12 製程潔淨控制與安全性 第15週 12/19 實務案例討論 第16週 12/26 實務案例討論 第17週 01/02 開國紀念日遇例假補假 第18週 01/09 期末考Final exam
評量方式與標準	課程評分標準： 1. Participation 出席成績 (10%) 2. Performance課堂表現 (20%) 3. Middle examination期中考 (35%) 4. Final examination 期末考 (35%)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 參考書目 1. 李克駿、李克慧、李明逵，半導體製程概論，第四版，全華圖書，2021/09
課程諮詢管道	同學如對課程有問題可於課程中提出，或是在下課時間詢問。 此外也可以下列方式聯絡老師諮詢： 1. 以電子郵件聯絡老師，老師信箱linhe@ntut.edu.tw 2. 登入課程Zuvio IRS系統，於回饋討論留言聯絡老師。
課程對應SDGs指標
備註	1. 本課程採實體授課。 2. 若遇不可抗力因素(如疫情)影響無法到校上課，將採遠距授課。 3. 遠距授課使用googlemeet進行教學，上課網址將公佈於網路學園，請同學留意相關資訊。 4. 評量方式：若表定考試日程遭遇不可抗力因素(如疫情)影響無法到校考試，本課程之考試將改為線上測驗。