教學大綱與進度
課程基本資料:
學年期
課號
課程名稱
階段
學分
時數
修
教師
班級
人
撤
備註
110-2
308766
半導體機台基礎
1
2.0
2
★
曾百由
機電學院(研)
12
0
密集授課,至台積電,詳教學大綱
教學大綱與進度:
教師姓名
曾百由
Email
stephen@ntut.edu.tw
最後更新時間
2022-04-07 14:48:33
課程大綱
協助學員在完成訓練後: 1.對半導體機台的設計原理、操作與預防保養有基礎的概念。 2.對半導體設備實務工作有初步的了解。 3.能結合學校所學理論與產業實務。 After completing the training, the trainees will: 1.Know the basic concept of the design principle, operation and preventive maintenance about semiconductor tools. 2.Have a preliminary understanding of what an equipment engineer does in Fab. 3.Be able to combine the theories learned from the school with industrial practices.
課程進度
本課程由台積電訓練中心提供課程設備,每一梯次受訓四天,每天課程如下: Day 1 1.System overview 2.Mainframe configuration 3.Process module 4.Utility connection 5.Sub system 6.Safety 7.Tool on site inspection Day 2 1.RF delivery system 2.Gas delivery system 3.Pressure servo system 4.ESC system 5.Backside He system 6.Temperature system 7.Chamber design evolution 8.EPD system introduction 9.Software operation overview Day 3 1.S/W operation main platform 2.S/W operation processmodule 3.S/W operation data access 4.Mainframe outline 5.Mainframe service function 6.Mainframe maintenance 7.Maintenance practice and certification Day 4 1.Chamber outline and PM preparation 2.Process kits disassembling 3.Process kits cleaning and inspection 4.Process kits installation 5.PM practice
評量方式與標準
成績評量由台積電訓練中心提供通過與否及訓練成績做為參考依據。 缺課一次即無法完成訓練課程將無法取得課程學分。
使用教材、參考書目或其他
【遵守智慧財產權觀念,請使用正版教科書,不得使用非法影印教科書】
使用外文原文書:是
台積電自製內部教材
課程諮詢管道
課程對應SDGs指標
備註
本課程施作方式依照台積電內部管理方式進行,因無法補課且牽涉公司內部商業機密,無法提供線上教材。個人缺席無法補課,如公司因疫情停課,會另尋時間開設。