教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-1	307177	積體電路製程特論	1	3.0	3	★	徐曉萱	材料所 能源光電外國學生專班	34	1	材料所和EOMP合開

教學大綱與進度：

教師姓名	徐曉萱　教師諮商時間(Office Hours)
Email	hhhsu@mail.ntut.edu.tw
最後更新時間	2023-01-28 15:12:56
課程大綱	This course will introduce the semiconductor process, including device basics, process flow, manufacturing, and process integration. The students will gain a thorough overview on semiconductor manufacturing technology before working in industry. Language: English
課程進度	1. Introduction of IC Fabrication 2. Semiconductor Basics 3. Wafer Manufacturing and Epitaxy 4. Oxidation and Thermal Processes 5. CVD and PVD 6. Metallization 7. Photolithography 8. Process Integration
評量方式與標準	Mid-term Exam 35% Final Exam 35% Class Participation: 30% (Homework, Classwork, Attendance)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Michael Quirk, Julian Serda, "Semiconductor Manufacturing Technology", Pearson, 2013 ISBN: 978-986-154-117-4
課程諮詢管道	email: hhhsu@mail.ntut.edu.tw
備註	1. 依學校公布，如遇疫情嚴峻，將採遠距上課，課程錄影，教材放北科i學園。依計網中心在 Microsoft Team 所提供之課程連結 (登入請用: 學號@cc.ntut.edu.tw，密碼同nportal入口網頁密碼。) 2. 同學如有加退選簽核或課程問題請 email: hhhsu@mail.ntut.edu.tw