教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-2	303207	半導體機台基礎	1	2.0	2	★	曾百由	機電學院(研)	0	0	【停開】

教學大綱與進度：

教師姓名	曾百由
Email	stephen@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-01-04 08:46:08
課程大綱	1.對半導體機台的設計原理、操作與預防保養有基礎的概念。 2.對半導體設備實務工作有初步的了解。 3.能結合學校所學理論與產業實務。 1.Know the basic concept of the design principle, operation and preventive maintenance about semiconductor tools. 2.Have a preliminary understanding of what an equipment engineer does in Fab. 3.Be able to combine the theories learned from the school with industrial practices.
課程進度	Week1 1. System overview 2. Mainframe configuration 3. Process module 4. Utility connection 5. Sub-system 6. Safety 7. Tool on-site inspection Week 2 1. RF delivery system 2. Gas delivery system 3. Pressure servo system 4. ESC system 5. Backside He system 6. Temperature system 7. Chamber design evolution 8. EPD system introduction 9. Software operation overview Week 3 1. S/W operation main platform 2. S/W operation process module 3. S/W operation data access 4. Mainframe outline 5. Mainframe service function 6. Mainframe maintenance 7. Maintenance practice and certification Week 4 1. Chamber outline and PM preparation 2. Process kits disassembling 3. Process kits cleaning and inspection 4. Process kits installation 5. PM practice
評量方式與標準	受訓時接受培訓單位考核，通過考核始得取得學分。成績評量由培訓單位建議參考。
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 培訓單位內部教材。
課程諮詢管道
備註	本課程為密集式課程，須至台積電-台中新訓中心上課4週。(分三梯，每梯10人) 課程報名表單：https://forms.gle/DFfWbrKXYkemQC7e9 (大學部開放大三大四生修習)