教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-2	302807	半導體尖端設備與關鍵元件	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所 製科所	82	0	曾釋鋒老師/限40人/先鋒大樓403教室

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-02-22 19:47:13
課程大綱	本課程沿續「積體電路製程先進技術與設備」課程，介紹半導體世代機台開發與製程應用、關鍵元件設計概念與應用，著重科學基礎知識如何應用在半導體產業。 As an extension of “Processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing” course, this course focuses on how the scientific knowledge is connected and applied to the real development of tools and introduces the evolution of the design and application of semiconductor tools and key components.
課程進度	Week Date Course W1 2/23 先進光刻機演進與製程應用 W2 3/02 光阻塗佈&顯影機台演進與製程應用 W3 3/09 爐管機台演進與製程應用 W4 3/16 PVD機台演進與製程應用 W5 3/23 運動會(全校停課) W6 3/30 Pressure gauge/RGA/MFC/RPS introduction W7 4/06 校慶慶祝大會暨園遊會補假(學生) W8 4/13 Dry/turbo pump/Cryo pump W9 4/20 期中考 W10 4/27 濕蝕刻機台演進與製程應用 W11 5/04 Chemical filter Concentration control W12 5/11 RF generator/matcher Robot transfer W13 5/18 CMP機台演進與製程應用 W14 5/25 Metrology機台設計與量測應用 W15 6/01 離子植入機台演進與製程應用 W16 6/08 磊晶機台演進與製程應用 W17 6/15 潔淨室AMCVOC氣體連續監控系統 W18 6/22 期末考
評量方式與標準	1.出席率：20% 2.期中考：40% 3.期末考：40%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自訂教材
課程諮詢管道
備註	因應疫情發展，本學期教學及授課方式請依照學校網頁所公布之訊息為準： (https://oaa.ntut.edu.tw/p/404-1008-98622.php?Lang=zh-tw) 與半導體設備商共授課程 因應疫情防疫規定，可能調整教學方式：遠距教學 使用教學軟體：google meet 教師諮商時間：每週三下午1:10-4:00 聯絡方式：E-mail: tsf@ntut.edu.tw