教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-2	302252	鍍膜工程	1	3.0	3	★	林懷恩	機電所 製科所	30	2	機電所和製科所合開/限50人

教學大綱與進度：

教師姓名	林懷恩
Email	linhe@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-04-10 16:14:25
課程大綱	鍍膜製程為近代製造業廣泛利用之表面處理技術，常用於刀具、模具、光學元件、感測器及半導體裝置等。本課程提供物理、化學法鍍膜技術之原理、設備之介紹。並講述膜成核、生長理論與近代薄膜科技於能源、光電、生醫與環境領域之應用。 Film deposition process, a surface treatment technology, has been widely used in modern manufacturing. It is commonly applied in the development of cutters, molds, optical component, sensor and semiconductor devices, etc. This course provides an introduction regarding the basic principle and apparatus of the coating technology (physical and chemical routes). Besides, the film nucleation, growth theory and their applications in energy, optoelectronic, biomedical and environmental fields are described as well.
課程進度	第1週 02/21 課程內容簡介 Introduction of the subject 第2週 02/28 Holiday 第3週 03/07 材料科學回顧 Materials Science Review 第4週 03/14 物理氣相沉積 Physical vapor deposition (Principle & apparatus of sputtering & thermal evaporative deposition) 第5週 03/21 物理氣相沉積 Physical vapor deposition (Principle & apparatus of sputtering & thermal evaporative deposition) 第6週 03/28 化學氣相沉積 Chemical vapor deposition (Principle & apparatus) 第7週 04/04 Holiday 第8週 04/11 電鍍、陽極處理(Electroplating & anodizing treatment) 第9週 04/18 Middle examination 期中考 第10週 04/25 溼式化學法製程 Wet-chemical process (Chemical bath deposition & electroless deposition) 第11週 05/02 溼式化學法製程 Wet-chemical process (Spin-coating & spray pyrolysis) 第12週 05/09 薄膜特性 (機械性質、光電特性) Thin film characteristic (Mechanical properties & optoelectronic properties), 薄膜分析 (材料性質) Thin film analyses (Materials properties) 第13週 05/16 薄膜應用(能源材料) Thin film applications (Energy materials) 第14週 05/23 薄膜應用(光電元件) Thin film applications (Optoelectronics) 第15週 05/30 薄膜應用(感測元件) Thin film applications (Sensor) 第16週 06/06 期末報告 (Final report) 第17週 06/13 期末報告 (Final report) 第18週 06/20 期末考 Final exam
評量方式與標準	1. Participation 出席成績 (10%) 2. Presentation發表 (30%), 3. Middle examination期中考 (30%) 4. Final examination 期末考 (30%)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 1. Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques, K. Seshan, William Andrew Publishing (2002). 2. The Materials Science of Thin Films, M. Ohring, Academic Press (1991)
課程諮詢管道
備註	Precaution announcement for COVID-19: ※Level 1 & 2: Class in Person ※Level 3: Online Classes. Distance teaching will be held by Googlemeet, and link will be posted on NTUT online system. Please pay attention to the relevant information. Coating Engineering online course 04/11 (Mon) p.m. 1:00-4:00 Link: https://meet.google.com/ugt-oima-cva