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教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期課號課程名稱階段學分時數修教師班級人撤備註

110-1 299217 半導體分子材料與製程檢測 1 2.0 2 ★ 李宜桓
林群哲工程一 60 4 工程學院4系選修

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-1	299217	半導體分子材料與製程檢測	1	2.0	2	★	李宜桓林群哲	工程一	60	4	工程學院4系選修

教學大綱與進度：

教師姓名林群哲

Email cclin0530@ntut.edu.tw

最後更新時間 2021-09-20 15:20:04

課程大綱本課程分為三大重點：(1) 製程涵蓋：半導體基礎原理、晶圓製造、加熱製程、蝕刻製程、化學氣相沉積、金屬化製程、製程整合技術。(2) 分析涵蓋：晶相結構分析、奈米3D顯微形貌表面形態分析、原子力顯微鏡。(3) 業界講師共同授課並分享產業為來發展趨勢。 The course is divided into three main points: (1) The fabrication: basic principles of semiconductor, wafer manufacturing, heating process, etching process, chemical vapor deposition, metallization process, and process integration technology. (2) Analysis: crystal structure analysis, nano 3D micro-topography and surface morphology analysis, atomic force microscope. (3) Industry lecturers teach and share industry trends in the future.

課程進度第1週 (9/13-9/17, 2021) 導論第2週 (9/20-9/24, 2021) Holiday 第3週 (9/27-10/1, 2021) 半導體分子材料-1 第4週 (10/4-10/8, 2021) 半導體分子材料-1 第5週 (10/11-10/15, 2021) Holiday 第6週 (10/18-10/22, 2021) 半導體製程與應用-1 第7週 (10/25-10/29, 2021) 半導體製程與應用-2 第8週 (11/1-11/5, 2021) 半導體製程與應用-3 第9週 (11/8-11/12, 2021) Midterm exam 第10週 (11/15-11/19, 2021) 分析技術與應用-1 第11週 (11/22-11/26, 2021) 分析技術與應用-1 第12週 (11/29-12/3, 2021) 分析技術與應用-2 第13週 (12/6-12/10, 2021) 分析技術與應用-2 第14週 (12/13-12/17, 2021) 業界實務講習第15週 (12/20-12/24, 2021) 業界實務講習第16週 (12/27-12/31, 2021) 業界實務講習第17週 (1/3-1/7, 2022) 業界實務講習第18週 (1/10-1/14, 2022) Final Exam

評量方式與標準 Class attendance and homework (30%) Midterm exam (30%) Final Exam (40%)

使用教材、參考書目或其他 【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】

使用外文原文書：是
1. 半導體製造技術與管理 (簡富; 清華大學出版) 2. Handbook of Microscopy for Nanotechnology (N. Yao and Z. L. Wang; KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS)

課程諮詢管道信箱: cclin0530@mail.ntut.edu.tw
Office Hours: 每星期一三 12:00-13:00

備註因應疫情發展，本學期教學及授課方式請依照學校網頁所公布之訊息為準：
(https://oaa.ntut.edu.tw/p/404-1008-98622.php?Lang=zh-tw)

●上課方式：遠距上課

●評量方式：
評分方式: homework (30%)、Midterm Exam (30%)、Final Exam (40%)
在符合防疫規範的前提下，保留學生須到校進行實體測驗的可能
●補充說明資訊：

教師姓名	林群哲
Email	cclin0530@ntut.edu.tw
最後更新時間	2021-09-20 15:20:04
課程大綱	本課程分為三大重點：(1) 製程涵蓋：半導體基礎原理、晶圓製造、加熱製程、蝕刻製程、化學氣相沉積、金屬化製程、製程整合技術。(2) 分析涵蓋：晶相結構分析、奈米3D顯微形貌表面形態分析、原子力顯微鏡。(3) 業界講師共同授課並分享產業為來發展趨勢。 The course is divided into three main points: (1) The fabrication: basic principles of semiconductor, wafer manufacturing, heating process, etching process, chemical vapor deposition, metallization process, and process integration technology. (2) Analysis: crystal structure analysis, nano 3D micro-topography and surface morphology analysis, atomic force microscope. (3) Industry lecturers teach and share industry trends in the future.
課程進度	第1週 (9/13-9/17, 2021) 導論第2週 (9/20-9/24, 2021) Holiday 第3週 (9/27-10/1, 2021) 半導體分子材料-1 第4週 (10/4-10/8, 2021) 半導體分子材料-1 第5週 (10/11-10/15, 2021) Holiday 第6週 (10/18-10/22, 2021) 半導體製程與應用-1 第7週 (10/25-10/29, 2021) 半導體製程與應用-2 第8週 (11/1-11/5, 2021) 半導體製程與應用-3 第9週 (11/8-11/12, 2021) Midterm exam 第10週 (11/15-11/19, 2021) 分析技術與應用-1 第11週 (11/22-11/26, 2021) 分析技術與應用-1 第12週 (11/29-12/3, 2021) 分析技術與應用-2 第13週 (12/6-12/10, 2021) 分析技術與應用-2 第14週 (12/13-12/17, 2021) 業界實務講習第15週 (12/20-12/24, 2021) 業界實務講習第16週 (12/27-12/31, 2021) 業界實務講習第17週 (1/3-1/7, 2022) 業界實務講習第18週 (1/10-1/14, 2022) Final Exam
評量方式與標準	Class attendance and homework (30%) Midterm exam (30%) Final Exam (40%)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】使用外文原文書：是 1. 半導體製造技術與管理 (簡富; 清華大學出版) 2. Handbook of Microscopy for Nanotechnology (N. Yao and Z. L. Wang; KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS)
課程諮詢管道	信箱: cclin0530@mail.ntut.edu.tw Office Hours: 每星期一三 12:00-13:00
備註	因應疫情發展，本學期教學及授課方式請依照學校網頁所公布之訊息為準： (https://oaa.ntut.edu.tw/p/404-1008-98622.php?Lang=zh-tw) ●上課方式：遠距上課 ●評量方式：評分方式: homework (30%)、Midterm Exam (30%)、Final Exam (40%) 在符合防疫規範的前提下，保留學生須到校進行實體測驗的可能 ●補充說明資訊：