教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-1	294940	微機電技術與應用	1	3.0	3	★	呂志誠	機電所	44	4	◎

教學大綱與進度：

教師姓名	呂志誠
Email	cclu23@ntut.edu.tw
最後更新時間	2021-09-27 18:46:20
課程大綱	本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料特性、主要製程技術介紹、主流微感測器與致動器介紹、工程應用實例介紹等。
課程進度	1. Introduction 2. Micromachining 3. Materials and system modeling 4. Simulation on micro- and nano-system design 5. Passive components and SOC 6. Performance indices of MEMS 7. Nanotechnology and MEMS 8. Mid-term (期中考) 9. Mechnical sensors and actuators 10. Thermal sensors and actuators 11. Micro-opto-electromechanical systems (MOEMS) 12. Microfluidic systems 13. Bio-chemical sensors and microsystems 14. Magnetic sensors and actuators 15. RF-MEMS 16. Group discussion session 17. Final-term report(期末技術報告)
評量方式與標準	期中考(exam) : 30 % 期末技術報告(report): 45 % 簡報、討論與作業(presentation, discussion and homework): 25 %
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 教科書 (Textbook) N.P. Mahalik, MEMS，McGraw-Hill, ISBN: 13 978-0-07-063445-9. Chang Liu, Foundations of MEMS (微機電系統原理與應用) , 黃義佑校閱，高立圖書，ISBN 978-986-412-543-2.
課程諮詢管道	每週五 6-8 節(14:00-17:00) 請至授課教師研究室綜科326。 請來信詢問預約時間，輔導網址: //meet.google.com/zuh-uvqx-bor
課程對應SDGs指標
課程是否導入AI
備註	●上課方式：遠距上課 ●評量方式： 以遠距上課為主；期中考採實體紙筆測驗，請至三教307教室 其餘簡報、技術報告與作業皆採線上報告與電子檔案繳交。 ●補充說明資訊： 無