教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-1	294925	積體電路製程先進技術與設備	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所	81	1	*限80人/科技研究大樓234室

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2021-09-17 15:02:26
課程大綱	本課程涵蓋半導體產業趨勢發展、超大型(Giga)半導體工廠廠務系統與先進自動化工廠運作、以及先進半導體製程技術和設備等三大部分。 This course mainly consists of development trend, Giga FAB, FAB automation, and processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing.
課程進度	週次 課程主題 一 半導體產業趨勢(線上課程說明) 二 半導體製造流程 三 先進自動化工廠運作 四 超大型半導體工廠廠務系統＆綠建築與能源 五 乾式蝕刻製程設備與技術 六 AI自動化在半導體設備的應用 七 參訪：台積Fab 廠區參訪 八 濕式蝕刻製程設備與技術 九 期中考 十 爐管及離子佈值製程設備與技術 十一 先進量測設備與技術 十二 光阻塗佈/曝光/微影製程設備與技術(一) 十三 光阻塗佈/曝光/微影製程設備與技術(二) 十四 參訪：半導體衛星工業工廠參訪 十五 物理氣相沉積製程設備與技術 十六 平坦化製程設備與技術 十七 化學氣相沉積製程設備與技術 十八 期末考
評量方式與標準	1.期中考試：30% 2.期末考試：30% 3.平時作業：30% 4.出席：10%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自編教材
課程諮詢管道	E-mail: tsf@ntut.edu.tw 聯絡電話：02-27712171 ext. 2043
備註	●上課方式：分流上課 開學第一週(9/22-9/28)進行線上授課教學，因應二級防疫授課方式，台積電希望採分流方式，一間實體授課，一間同步直播，並由助教協助避側錄。 ●評量方式： 期中考、期末考採實體紙筆測驗。 ●補充說明資訊：