教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
109-2	287931	鍍膜工程	1	3.0	3	★	林懷恩	機電所 製科所 機械自動化外生專班 機電博所 機電外國學生專班	21	0	◎甲組選修/機電.製科所和機電博班合開/外加

教學大綱與進度：

教師姓名	林懷恩
Email	linhe@ntut.edu.tw
最後更新時間	2021-02-20 14:39:27
課程大綱	先修課程：負責教授同意。鍍膜製程為近代製造業廣泛利用之表面處理技術，常用於刀具、模具、光學元件、感測器及半導體裝置等。本課程提供物理、化學法鍍膜技術之原理、設備之介紹。並講述膜成核、生長理論與近代薄膜科技於能源、光電、生醫與環境領域之應用。 Film deposition process, a surface treatment technology, has been widely used in modern manufacturing. It is commonly applied in the development of cutters, molds, optical component, sensor and semiconductor devices, etc. This course provides an introduction regarding the basic principle and apparatus of the coating technology (physical and chemical routes). Besides, the film nucleation, growth theory and their applications in energy, optoelectronic, biomedical and environmental fields are described as well.
課程進度	Week 1 課程內容簡介 Introduction of the subject Week 2 材料科學回顧 Materials Science Review Week 3 物理氣相沉積 Physical vapor deposition (Principle & apparatus of sputtering & thermal evaporative deposition) Week 4 化學氣相沉積 Chemical vapor deposition (Principle & apparatus) Week 5 電鍍、陽極處理、廢水處理 (Electroplating, anodizing & wastewater treatment) Week 6 例假日 Holiday Week 7 溼式化學法製程 Wet-chemical process (Spin-coating & spray pyrolysis) Week 8 溼式化學法製程 Wet-chemical process (Chemical bath deposition & electroless deposition) Week 9 期中考Middle examination Week 10 薄膜特性 (機械性質、光電特性) Thin film characteristic (Mechanical properties & optoelectronic properties) Week 11 薄膜分析 (材料性質) Thin film analyses (Materials properties) Week 12 薄膜成核與生長理論, 微結構與磊晶 Week 13 薄膜應用(能源材料) Thin film applications (Energy materials) Week 14 薄膜應用(光電元件) Thin film applications (Optoelectronics) Week 15 薄膜應用(生醫與環境) Thin film applications (biomedical and environmental sciences) Week 16 期末報告 (Final report) Week 17 期末報告 (Final report) Week 18 Final exam 期末考
評量方式與標準	1. Participation 出席成績 (10%) 2. Assignment & presentation 作業與發表 (30%) 3. Middle examination 期中考 (30%) 4. Final examination 期末考 (30%)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 1. Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques, K. Seshan, William Andrew Publishing (2002). 2. The Materials Science of Thin Films, M. Ohring, Academic Press (1991).
課程諮詢管道
備註