教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
108-2	274308	積體電路製程先進技術與設備	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所	74	0	與台積電講師共同授課,限40人*

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2020-02-04 22:30:13
課程大綱	本課程涵蓋半導體產業趨勢發展、超大型(Giga)半導體工廠廠務系統與先進自動化工廠運作、以及先進半導體製程技術和設備等三大部分。 This course mainly consists of development trend, Giga FAB, FAB automation, and processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing.
課程進度	週次 課程主題 一 半導體產業趨勢 二 半導體製造流程與設備簡介 三 超大型半導體工廠廠務系統 (一) 四 超大型半導體工廠廠務系統 (二) 五 先進自動化工廠運作 六 先進半導體設備真空系統簡介 七 台積Fab14 廠區參訪 八 期中考 九 氣體及化學品管路及精密控制元件 十 爐管及離子佈值技術 十一 奈米級晶圓清潔技術與設備 十二 先進蝕刻技術與設備 十三 深次微米黃光顯影技術與設備 十四 化學氣相沉積技術與設備 十五 物理氣相沉積技術與設備 十六 先進平坦化技術與設備 十七 半導體衛星工業工廠參訪 十八 期末考
評量方式與標準	1.期中考試：30% 2.期末考試：30% 3.平時作業：30% 4.出席：10%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自編教材
課程諮詢管道
備註