教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
106-1	234912	半導體薄膜特性與製程	1	3.0	3	★	王耀德	光電所	9	1	億光1035，專業4選2D，光電四與光電所合開

教學大綱與進度：

教師姓名	王耀德
Email	wangyt@ntut.edu.tw
最後更新時間	2017-06-09 17:09:50
課程大綱	本課程將介紹：(1)半導體之晶格結構與能帶理論，(2)半導體物理特性，(3)半導體光學特性，(4)薄膜結構及特性(包括表面、介面、量子井、超晶格與奈米尺度的特性)，(5)發光二極體及半導體雷射原理，(6)真空系統，(7)薄膜沉積技術，(8)磊晶及摻雜，(9)應用在光電領域的半導體薄膜材料。(10)薄膜特性之檢測
課程進度	1:Introduction 2:Classical Transport Theory 3:Crystal Structures 4:Concept of Quantum Theory 5:Band Theory 6:Properties of Semiconductors 7:Properties of Thin Films 8:Midterm Exam 9:Vacuum Science 10:Vacuum Technology 11:Thin Film Process 12:Deposition Techniques 13:Deposition Techniques 14:Thin Film Analysis 15:Characterization of Thin Films 16:Special Topics 17:special Topics 18:Final Exam
評量方式與標準	midterm:25% final:25% term paper/presentation:35% participation:15%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Thin-Film Deposition, by Donald L. Smith Materials Science of Thin Films, by Milton Ohring
課程諮詢管道
備註