教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
113-1	343603	半導體清洗製程及瑕疵控制技術	1	2.0	2	★	張慶裕	半導體學位學程	21	0

教學大綱與進度：

教師姓名	張慶裕
Email	mailtocy@yahoo.com.tw
最後更新時間	2024-08-19 11:59:34
課程大綱	半導體清洗技術為先進半導體的重要製程，如何以化學反應及物理力將微小的溝槽及隙縫清洗乾淨，是缺陷控制的重要步驟。本課程從半導體清洗製程的基本原理、步驟、到配方組成的介紹，讓學員有一整體性概念，瞭解晶圓清洗製程在晶圓製造上所扮演的角色及其對良率的影響。加入實際案例的介紹與演練，使學員能更清楚如何積累專業背景知識以及如何學以致用，培養出半導體產業的本職學能，提升未來就業基礎與創新能力。 Semiconductor cleaning technology is a crucial process in advanced semiconductor manufacturing. Understanding how to effectively remove defect through chemical reactions and physical forces is a critical stratege in process defect control. This course covers the fundamental principles, steps, and ingredients of semiconductor cleaning processes, providing participants with a comprehensive understanding of the role of wafer cleaning processes in wafer manufacturing and their importance on chip yield. Through practical case studies and exercises, participants gain clarity on how to accumulate professional background knowledge and apply it effectively, fostering the essential skills for the semiconductor industry and enhancing future employment foundations and innovation capabilities.
課程進度	周次 主題 2/3 半導體製程簡介 4/5 晶圓清洗製程 6/7 晶圓濕式蝕刻製程 8/10 晶圓回收清洗製程 11 封裝清洗製程 12/13 黃光清洗製程 14 不良粒子控制技術 15/16 實戰案例解析 17 小組模擬演練指導
評量方式與標準	1. 期中期末測驗 50% 2. 上課表現 20% 3. 小組報告 20% 4. 作業 10%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 使用教師準備之投影片及上課補充內容
課程諮詢管道	教師課程諮詢信箱: mailtocy@yahoo.com.tw
延伸教學與資源
課程對應SDGs指標	SDG6：潔淨水與衛生（Clean Water and Sanitation） SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure） SDG13：氣候行動（Climate Action） SDG14：水下生命（Life below Water） SDG15：陸域生命（Life on Land）
課程是否導入AI
備註