教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
114-2	359841	先進半導體製程	1	3.0	3	★	張元震	機電所 製科所 機械自動化外生專班	41	0	機電、製科、外生專班合開，限40人；製科◎、甲選修

教學大綱與進度：

教師姓名	張元震　教師諮商時間(Office Hours)
Email	yjchang@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-12-19 09:56:27
課程大綱	本課程主要為半導體製程之基礎課程。教學目標為使學生了解半導體基礎知識，對於積體電路之前後段各站製程之原理與步驟有基礎認識。 本課程預計以英語授課方式進行。 This course is a fundamental course to introduce the basics of integrated circuit manufacturing process. The goal of the course is to provide the basic knowledge of general semiconductor and the principle and step of each front /back end of the semiconductor manufacturing processes. The course will be provided in English.
課程進度	第一週 導論 (Introduction) 第二週 積體電路生產簡介 (Introduction of IC process) 第三週 半導體材料 (Semiconductor Materials) 第四週 半導體材料 (Semiconductor Materials) 第五週 晶圓製造 (Wafer Fabrication Process) 第六週 熱製程 (Thermal Processing) 第七週 微影製程 (Lithography) 第八週 微影製程 (Lithography) 第九週 蝕刻 (Etching) / Mid-term Exam 第十週 蝕刻 (Etching) 第十一週 離子佈植 (Ion Implantation) 第十二週 離子佈植 (Ion Implantation) 第十三週 物理氣相沉積 (PVD) 第十四週 物理氣相沉積 (PVD) 第十五週 化學氣相沉積 (CVD) 第十六週 化學氣相沉積 (CVD) 第十七週 化學機械研磨 (CMP) 第十八週 Final Report
評量方式與標準	期中考 以及 期末報告 Mid-term and Final report 占比於第一堂課公布 Percentage will be announced in syllabus and in the 1st class of the semester.
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 提供課程簡報 PPT will be provided.
課程諮詢管道	NTUT ipluse and Email
延伸教學與資源
課程對應SDGs指標	SDG1：消除貧窮（No Poverty） SDG4：優質教育（Quality Education） SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
課程是否導入AI	● 鼓勵學生使用生成式AI工具（Encourage students to use generative AI tools）
備註