教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
112-2	331835	先進半導體製程	1	3.0	3	★	張元震	機電所 製科所 機械自動化外生專班 機電博所 機電外國學生專班	48	1	機電所、製科所、機械自動化專班和機電博(含外)合開,

教學大綱與進度：

教師姓名	張元震　教師諮商時間(Office Hours)
Email	yjchang@ntut.edu.tw
最後更新時間	2024-05-15 13:22:39
課程大綱	先修課程：半導體元件物理﹙4005032﹚。本課程著重於IC製程技術之學習。課程內容包括：IC絕緣技術、模組製程技術、導線技術、整合工程技術、SOC技術及半導體奈米元件技術等。 A study on advanced IC process. The contents cover IC isolation technology, module process, interconnection line process, process integration, SOC applications and CMOS nano device engineering etc.
課程進度	Week Content Week 1 導論 (Introduction) Week 2 積體電路生產簡介 (Introduction of IC process) Week 3 半導體材料 (Semiconductor Materials) Week 4 半導體材料 (Semiconductor Materials) Week 5 晶圓製造 (Wafer Fabrication Process) Week 6 熱製程 (Thermal Processing) Week 7 微影製程 (Lithography) Week 8 微影製程 (Lithography) Week 9 蝕刻 (Etching) / Mid-term Exam Week 10 蝕刻 (Etching) Week 11 離子佈植 (Ion Implantation) Week 12 離子佈植 (Ion Implantation) Week 13 物理氣相沉積 (PVD) Week 14 物理氣相沉積 (PVD) Week 15 化學氣相沉積 (CVD) Week 16 化學氣相沉積 (CVD) Week 17 化學機械研磨 (CMP) Week 18 Final Exam
評量方式與標準	Mid-term 50% Final Exam 50%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 Introduction to semiconductor manufacturing technology, Xiao Hong, SPIE, c2012 半導體製程技術導論(第三版), 蕭宏 著, 全華書局，103年8月
課程諮詢管道	Prof. Yuan-Jen Chang Office: Complex Building, room 221 Phone: 02-27712171 ext. 2021 Email: yjchang@mail.ntut.edu.tw
課程對應SDGs指標
備註	Final Exam will be held on June 3 due to the schedule changed by university. In week 17, it is a holiday. In week 18, we will check out the final exam.