教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
113-2	344088	真空設備專論	1	3.0	3	★	陳澤興	訓四能四	33	0

教學大綱與進度：

教師姓名	陳澤興　教師諮商時間(Office Hours)
Email	tzershing.chen@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-02-17 12:50:29
課程大綱	近年來由於台灣在半導體、平面顯示器、光電、薄膜、低溫冷凍、生物科技及微奈米技術等產業的蓬勃發展，因而帶動了真空設備相關產業，進而對真空科技及其專業人才需求日殷。本課程將針對上述產業所使用的相關真空設備進行講解及討論，包含有真空蒸鍍系統、真空濺鍍系統、真空冷凍乾燥系統、電漿蝕刻真空系統、真空熱處理系統、表面分析技術等，將使學生具備真空設備理論及實務的相關知識與技能。 The vacuum industry is growing fast in the past two decades because of the highly growing of the high-tech industries including semiconductor, optics-electrics, communication, MEMS, and nano-technology. Therefore, a lot of students need to know the vacuum system described previously. This program will introduce vacuum systems including vacuum evaporating system, vacuum sputtering system, vacuum drying system, vacuum plasma etching system, surface analysis.
課程進度	第01週2/21 : 第一講_真空概論 (真空的定義、氣體分子動力原理) 第02週2/28 : 和平紀念日放假 第03週3/07 : 第二講_真空系統計算 (真空系統、氣導、抽氣速率) 第04週3/14 : 第三講_排氣式真空幫浦 (分類、種類介紹、作業1) 第05週3/21 : 第四講_儲氣式真空幫浦(分類、種類介紹) 第06週3/28 : 第五講_真空度量 (作業2) 第07週4/04 : 清明節放假 第08週4/11 : 第六講_真空測量(含作業1~2講解) 第09週4/18 : 期中考 第10週4/25 : 114學年度四技二專統測試場(放假) 第11週5/02 : 第七講_真空系統檢漏技術 第12週5/09 : 第八講_真空系統汙染與清潔(作業3) 第13週5/16 : 第九講_真空冷凍乾燥 第14週5/23 : 第十講_真空鍍膜系統 第15週5/30 : 第十一講_真空冶金系統(作業4) 第16週6/06 : 第十二講_真空熱處理系統(作業3~4講解) 第17週6/13 : 期末報告1 第18週6/20 : 期末報告2 ※課程進度與作業要求將視學生學習情況適度調整。
評量方式與標準	1.出缺席狀況 (20 %) → 無故缺席扣2% /次 2.期中考(筆試) (30 %) 3.期末考(報告) (30 %) 4.平時作業4次(20 %) ※評量項目與配分將視學生學習情況適度調整。
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 使用教材: 個人自編之講義 參考書目: 參考各章節講義參考書目之課堂說明內容
課程諮詢管道	1.課程諮詢時間Office hour: 每周一(第A節 : 18:00~19:00) ※如有任何問題，請事先與授課教師約定時間與地點 研究室地點：綜合科館 611-4室 研究室分機：3528 2.開學後組成線上群組Line group discussion: to be announced.
延伸教學與資源
課程對應SDGs指標	SDG4：優質教育（Quality Education） SDG7：可負擔的潔淨能源（Affordable and Clean Energy） SDG11：永續城市與社區（Sustainable Cities and Communities） SDG12：負責任的消費與生產（Responsible Consumption and Production）
課程是否導入AI
備註