教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
114-2	360398	半導體設備元件基礎	1	2.0	2	★	林懷恩	機電學院(大)	15	0	寒假密集授課,至台積電,詳教學大綱

教學大綱與進度：

教師姓名	林懷恩　教師諮商時間(Office Hours)
Email	linhe@ntut.edu.tw
最後更新時間	2026-01-28 12:07:16
課程大綱	協助學員在完成訓練後: 1.對半導體設備元件原理與作用有基礎的了解 2.對半導體設備實務工作有初步的了解 3.能結合學校所學理論與產業實務。 After completing the training, the trainees will: 1.Have a basic understanding of the principles and functions of semiconductor equipment components. 2.Have a preliminary understanding of what an equipment engineer does in Fab. 3.Be able to combine the theories learned from the school with industrial practices.
課程進度 (1-16週)	Week1 Transfer(1) 1. EFEM元件動作與功能 介紹 2. Robot動作原理與校正 3. Load port Transfer(2) 1. 前開式晶圓傳送盒 (FOUP)的種類與演進 2. TSMC- Load port 3. 晶圓震動感測器 Week 2 Gas/MFC 1. 質量流量控制器(MFC) 介紹 2. 氣體過濾器(Gas filter) 3. MFC校正實作 Chemical 1. 流體幫浦介紹 2. 化學過濾器的種類與原理 3. 化學材料介紹 4. Chemical valve Week 3 Plasma 1. 電漿的形成原理 2. 電漿設計的種類與原理 3. DC bias原理 4. 電漿的應用 Temperature 1. 溫度作用與元件種類 2. Chiller/ Heat-changer 3. 致冷晶片/ 冷卻液種類 4. 靜電力吸盤(ESC)原理與作用簡介 Week 4 Specialty 1. 塗佈(Coating)技術介紹 2. 光放射光譜(OES)原理 與應用 3. e-Sensor 4. 電離器介紹 Vacuum 1. 幫浦原理 2. 壓力量測原理 3. Valve原理 4. O-ring介紹
評量方式與標準	成績評量由台積電訓練中心提供通過與否及訓練成績做為依據。成績包含訓練成果筆試與上課表現，經台積電提供相關成績後再由本校進行等第成績計算。 缺課一次即無法完成訓練課程將無法取得課程學分，與台積電是否發予結訓證明無關。 各次考試成績請於考後直接洽詢台積電授課講師，本校並無相關成績資料備查。建議上課過程即可詢問確認，勿待課程結束後才透過學校查詢。
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 台積電自製內部教材
課程諮詢管道	上課時間向台積電專業人員諮詢
延伸教學與資源
課程對應SDGs指標	SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
課程是否導入AI	● 無（None）
備註	本課程施作方式依照台積電內部管理方式進行，因無法補課且牽涉公司內部商業機密，無法提供線上教材。個人缺席無法補課，如公司因疫情停課，會另尋時間開設。 加選前請務必先跟課程承辦人確認有台積電的名額。 各次考試成績請於考後直接洽詢台積電授課講師，本校並無相關成績資料備查。建議上課過程即可詢問確認，勿待課程結束後才透過學校查詢。