教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
112-2	331641	半導體製程技術導論	1	3.0	3	★	陳美杏	光電所 電資外生所	18	2	光電所和電資外生所合開

教學大綱與進度：

教師姓名	陳美杏　教師諮商時間(Office Hours)
Email	mhchen@mail.ntut.edu.tw
最後更新時間	2024-05-22 16:32:30
課程大綱	導論、積體電路生產介紹、半導體基礎、晶圓製造、加熱製程、微影蝕刻、電漿的基礎原理、離子佈植、化學氣相沉積與介電質薄膜、金屬化製程、化學機械研磨、製程整合、CMOS 製程 Introduction、Introduction to IC Fabrication、Semiconductor Basics、 Wafer Manufacturing、Thermal Processes、Photolithography and Etch、 Plasma Basics、Ion Implantation、CVD and Dielectric Thin Film、 Metallization、CMP 、Process Integration、CMOS Processes
課程進度	Introduction to IC Fabrication ( 1 week ) Semiconductor Basics ( 2 weeks ) Wafer Manufacturing ( 1 week ) Thermal Processes ( 2 weeks ) Photolithography and Etch ( 1 week ) Plasma Basics ( 2 weeks ) Ion Implantation ( 1 week ) CVD and Dielectric Thin Film ( 2 weeks ) Metallization ( 1 week ) CMP ( 1 week ) Process Integration ( 1 week ) CMOS Processes ( 1 week )
評量方式與標準	Attendance : 10 % Midterm: 30 % ( close book ) Final term：30 % (close book ) Presentation：30 % (15 minutes presentation per person)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Introduction to semiconductor manufacturing technology
課程諮詢管道	We will be at the same classroom (Everlight building 935) on the 17th, 18th week.
課程對應SDGs指標
備註	We will be at the same classroom (Everlight building 935) on the 17th, 18th week.