教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
114-1	350848	積體電路製程先進技術與設備	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所 半導體學位學程	40	0	機電所甲組◎,和創新半導體合開；限40人

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒　教師諮商時間(Office Hours)
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-06-29 23:09:45
課程大綱	本課程涵蓋半導體產業趨勢發展、超大型(Giga)半導體工廠廠務系統與先進自動化工廠運作、以及先進半導體製程技術和設備等三大部分。 This course mainly consists of development trend, Giga FAB, FAB automation, and processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing.
課程進度	週次 課程主題 一 半導體產業趨勢(含課程說明) 二 半導體製造流程 三 超大型半導體工廠廠務系統&綠建築與節能 四 先進自動化工廠運作 五 濕式蝕刻製程設備與技術 六 乾式蝕刻製程設備與技術 七 AI 自動化在半導體設備的應用 八 爐管及離子佈值製程設備與技術 九 期中考 十 離子植佈製程設備與技術 十一 先進量測設備與技術 十二 光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 (一) 十三 光阻塗佈/曝光/顯影製程設備與技術 (二) 十四 化學氣相沉積製程設備與技術 十五 物理氣相沉積製程設備與技術 十六 參訪：半導體供應鏈廠商(TEL) 十七 平坦化製程設備與技術 十八 期末考
評量方式與標準	1.期中考試：40% 2.期末考試：40% 3.平時表現(含出席)：20%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自編教材
課程諮詢管道	諮詢地點：綜科館423室
課程對應SDGs指標	SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
課程是否導入AI	● 無（None）
備註