教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
111-1	309101	積體電路製程先進技術與設備	1	3.0	3	★	曾釋鋒	機電所 製科所	82	2	◎/限50人/機電所和製科所合開/請教務處安排教室

教學大綱與進度：

教師姓名	曾釋鋒　教師諮商時間(Office Hours)
Email	tsf@ntut.edu.tw
最後更新時間	2022-06-09 08:33:29
課程大綱	本課程涵蓋半導體產業趨勢發展、超大型(Giga)半導體工廠廠務系統與先進自動化工廠運作、以及先進半導體製程技術和設備等三大部分。 This course mainly consists of development trend, Giga FAB, FAB automation, and processing technology and equipment for advanced semiconductor manufacturing.
課程進度	週次 課程主題 一 半導體產業趨勢(課程說明) 二 半導體製造流程 三 先進自動化工廠運作 四 超大型半導體工廠廠務系統＆綠建築與能源 五 乾式蝕刻製程設備與技術 六 AI自動化在半導體設備的應用 七 參訪：台積Fab 廠區參訪 八 濕式蝕刻製程設備與技術 九 期中考 十 爐管及離子佈值製程設備與技術 十一 先進量測設備與技術 十二 光阻塗佈/曝光/微影製程設備與技術(一) 十三 光阻塗佈/曝光/微影製程設備與技術(二) 十四 參訪：半導體衛星工業工廠參訪 十五 物理氣相沉積製程設備與技術 十六 平坦化製程設備與技術 十七 化學氣相沉積製程設備與技術 十八 期末考
評量方式與標準	1.期中考試：30% 2.期末考試：30% 3.平時作業：30% 4.出席：10%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：否 自編教材
課程諮詢管道	時間：每週一和週三中午12:00-13:00 地點：綜科館423室
課程對應SDGs指標
課程是否導入AI
備註	預先安排因應疫情遠距教學網址：meet.google.com/jny-yght-ywq