教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
110-1	293926	積體電路製程特論	1	3.0	3	★	徐曉萱	材料所 能源光電外國學生專班	29	0	材料所和EOMP合開◎

教學大綱與進度：

教師姓名	徐曉萱
Email	hhhsu@mail.ntut.edu.tw
最後更新時間	2021-09-19 15:34:13
課程大綱	This course will introduce the semiconductor process, including device basics, process flow, manufacturing, and process integration. The students will gain a thorough overview on semiconductor manufacturing technology before working in industry. Language: English
課程進度	1. Introduction of IC Fabrication 2. Semiconductor Basics 3. Wafer Manufacturing and Epitaxy 4. Oxidation and Thermal Processes 5. CVD and PVD 6. Metallization 7. Photolithography 8. Etching 9. Process Integration
評量方式與標準	Mid-term Exam 40% Final Exam 40% Homework and Attendance 20%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Michael Quirk, Julian Serda, "Semiconductor Manufacturing Technology", Pearson, 2013 ISBN: 978-986-154-117-4
課程諮詢管道	E-mail:hhhsu@mail.ntut.edu.tw
課程對應SDGs指標
備註	●上課方式：遠距上課 ●評量方式： 期中考、期末考採實體紙筆測驗 ●補充說明資訊：