教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
114-1	348852	半導體分子材料與製程檢測	1	2.0	2	★	李宜桓 林群哲	分子一 工程一	70	0	分子一和工程一合開

教學大綱與進度：

教師姓名	林群哲　教師諮商時間(Office Hours)
Email	cclin0530@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-06-03 17:58:52
課程大綱	本課程分為三大重點：(1) 製程涵蓋：半導體基礎原理、晶圓製造、加熱製程、蝕刻製程、化學氣相沉積、金屬化製程、製程整合技術。(2) 分析涵蓋：晶相結構分析、奈米3D顯微形貌表面形態分析、原子力顯微鏡。(3) 業界講師共同授課並分享產業為來發展趨勢。 The course is divided into three main points: (1) The fabrication: basic principles of semiconductor, wafer manufacturing, heating process, etching process, chemical vapor deposition, metallization process, and process integration technology. (2) Analysis: crystal structure analysis, nano 3D micro-topography and surface morphology analysis, atomic force microscope. (3) Industry lecturers teach and share industry trends in the future.
課程進度	第1週 (9/8-9/12, 2025) 導論 第2週 (9/15-9/19, 2025) 半導體分子材料-1 第3週 (9/22-9/26, 2025) 半導體分子材料-2 第4週 (9/29-10/3, 2025) 化學氣相沉積-1 第5週 (10/6-10/10, 2025) 化學氣相沉積-2 第6週 (10/13-10/17, 2025) 半導體製程與應用-1 第7週 (10/20-10/24, 2025) 半導體製程與應用-2 第8週 (10/27-10/31, 2025) 蝕刻製程-1 第9週 (11/3-11/7, 2025) Midterm exam 第10週 (11/10-11/14, 2025) 業界實務講習 第11週 (11/17-11/21, 2025) 蝕刻製程-2 第12週 (11/24-11/28, 2025) 業界實務講習 第13週 (12/1-12/5, 2025) 分析技術與應用-1 第14週 (12/8-12/12, 2025) 分析技術與應用-2 第15週 (12/15-12/19, 2025) 業界實務講習 第16週 (12/22-12/26, 2025) 製程整合技術-1 第17週 (12/29-1/2, 2025) 製程整合技術-2 第18週 (1/5-1/9, 2026) Final Exam
評量方式與標準	Midterm exam (40%) Final Exam (40%) Class attendance and homework (20%)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 1. 半導體製造技術與管理 (簡富; 清華大學出版) 2. Handbook of Microscopy for Nanotechnology (N. Yao and Z. L. Wang; KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS) 3. 業師自備課程
課程諮詢管道	(1) 教師諮商時間Office Hours (Monday: 13:00 ~ 15:00; Tuesday: 13:00 ~ 15:00; Thursday: 10:00 ~ 12:00) (2) e-mail (3) 視訊video
課程對應SDGs指標	SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
課程是否導入AI	● 簡單介紹AI的基本概念（Briefly introduce the basic concept of AI）
備註