教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
112-1	320400	半導體分子材料與製程檢測	1	2.0	2	★	李宜桓 林群哲	分子一 工程一	95	3	分子一和工程一合開

教學大綱與進度：

教師姓名	林群哲　教師諮商時間(Office Hours)
Email	cclin0530@ntut.edu.tw
最後更新時間	2023-06-02 16:55:58
課程大綱	本課程分為三大重點：(1) 製程涵蓋：半導體基礎原理、晶圓製造、加熱製程、蝕刻製程、化學氣相沉積、金屬化製程、製程整合技術。(2) 分析涵蓋：晶相結構分析、奈米3D顯微形貌表面形態分析、原子力顯微鏡。(3) 業界講師共同授課並分享產業為來發展趨勢。 The course is divided into three main points: (1) The fabrication: basic principles of semiconductor, wafer manufacturing, heating process, etching process, chemical vapor deposition, metallization process, and process integration technology. (2) Analysis: crystal structure analysis, nano 3D micro-topography and surface morphology analysis, atomic force microscope. (3) Industry lecturers teach and share industry trends in the future.
課程進度	第1週 (9/11-9/15, 2023) 導論 第2週 (9/18-9/22, 2023) 半導體分子材料-1 第3週 (9/25-9/29, 2023) 半導體分子材料-2 第4週 (10/2-10/6, 2023) 半導體分子材料-3 第5週 (10/9-10/13, 2023) Holiday 第6週 (10/16-10/20, 2023) 半導體製程與應用-1 第7週 (10/23-10/27, 2023) 半導體製程與應用-2 第8週 (10/30-11/3, 2023) 半導體製程與應用-3 第9週 (11/6-11/10, 2023) Midterm exam 第10週 (11/13-11/17, 2023) 業界實務講習 第11週 (11/20-11/24, 2023) 分析技術與應用-1 第12週 (11/27-12/1, 2023) 業界實務講習 第13週 (12/4-12/8, 2023) 分析技術與應用-2 第14週 (12/11-12/15, 2023) 分析技術與應用-3 第15週 (12/18-12/22, 2023) 業界實務講習 第16週 (12/25-12/29, 2023) 分析技術與應用-4 第17週 (1/1-1/5, 2024) Holiday 第18週 (1/8-1/12, 2024) Final Exam
評量方式與標準	Class attendance and homework (40%) Midterm exam (30%) Final Exam (30%)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 1. 半導體製造技術與管理 (簡富; 清華大學出版) 2. Handbook of Microscopy for Nanotechnology (N. Yao and Z. L. Wang; KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS) 3. 業師自備課程
課程諮詢管道	(1) 教師諮商時間 (星期二: 13:00 ~ 15:00; 星期三: 13:00 ~ 15:00; 星期五: 13:00 ~ 15:00) (2) e-mail (3) 視訊
課程對應SDGs指標
備註