教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
102-2	188251	微機電技術與應用	1	3.0	3	★	莊賀喬	職機電所	18	0

教學大綱與進度：

教師姓名	莊賀喬
Email	hchuang@ntut.edu.tw
最後更新時間	2014-02-11 13:15:00
課程大綱	微加工程序含MUMPS，打樣、沉積、蝕刻；設計工具含MEMCAD, Matlab, EM software, and Ansys 等；應用例含壓力感測器、加速度計、探針卡、微波元件、生物晶片等；最後介紹封裝與測試技術。
課程進度	1. Introduction to MEMS / Microsystems 2. Microelectronics Fabrication 3. CAD / CAM of MEMS 4. Mechanical Transducers 5. Microactuators 6. Thermal Transducers 7. Optical Microsystems 8. MEMS in Medicine and Biology 9. Microsystems Packaging
評量方式與標準	作業 30% 出席 10% 期中測驗 30% 期末測驗 30%
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：　 自編講義
課程諮詢管道
課程對應SDGs指標
備註