教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
113-2	350837	半導體機台基礎	1	2.0	2	★	曾百由	機電學院(大)	24	0	密集授課,至台積電,詳教學大綱

教學大綱與進度：

教師姓名	曾百由　教師諮商時間(Office Hours)
Email	stephen@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-05-28 16:58:39
課程大綱	協助學員在完成訓練後: 1.對半導體機台的設計原理、操作與預防保養有基礎的概念。 2.對半導體設備實務工作有初步的了解。 3.能結合學校所學理論與產業實務。 After completing the training, the trainees will: 1.Know the basic concept of the design principle, operation and preventive maintenance about semiconductor tools. 2.Have a preliminary understanding of what an equipment engineer does in Fab. 3.Be able to combine the theories learned from the school with industrial practices.
課程進度	本課程由台積電訓練中心(位於台中)提供課程設備，實際授課內容視該期可用設備由台積電調整。每一梯次受訓四天，本學期為3/2開始，每天課程範例如下： Day 1 1.System overview 2.Mainframe configuration 3.Process module 4.Utility connection 5.Sub system 6.Safety 7.Tool on site inspection Day 2 1.RF delivery system 2.Gas delivery system 3.Pressure servo system 4.ESC system 5.Backside He system 6.Temperature system 7.Chamber design evolution 8.EPD system introduction 9.Software operation overview Day 3 1.S/W operation main platform 2.S/W operation processmodule 3.S/W operation data access 4.Mainframe outline 5.Mainframe service function 6.Mainframe maintenance 7.Maintenance practice and certification Day 4 1.Chamber outline and PM preparation 2.Process kits disassembling 3.Process kits cleaning and inspection 4.Process kits installation 5.PM practice 原則上周六早上6點由本校出發，課程結束約六點由台中出發返校。統一提供交通運輸。遲到無法等待，視同缺課。
評量方式與標準	成績評量由台積電訓練中心提供通過與否及訓練成績做為參考依據。成績包含訓練成果筆試與上課表現，經台積電提供相關成績後再由本校進行等第成績計算。 缺課一次即無法完成訓練課程將無法取得課程學分，與台積電是否發予結訓證明無關。
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 台積電自製內部教材
課程諮詢管道	上課時間向台積電專業人員諮詢
延伸教學與資源
課程對應SDGs指標	SDG4：優質教育（Quality Education） SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure） SDG12：負責任的消費與生產（Responsible Consumption and Production） SDG17：夥伴關係（Partnerships for the Goals）
課程是否導入AI	● 無（None）
備註	本課程施作方式依照台積電內部管理方式進行，因無法補課且牽涉公司內部商業機密，無法提供線上教材。個人缺席無法補課，如公司因疫情停課，會另尋時間開設。 加選前請務必先跟教務處謝小姐確認有台積電的名額，以無法前往受訓完成課程。 https://oaa.ntut.edu.tw/p/412-1008-17218.php?Lang=zh-tw