教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
114-2	359728	半導體製程整合技術	1	3.0	3	★	楊重光	化工所 能源光電外國學生專班	0	0	EMI網路預選限15人；化工所EOMP合開

教學大綱與進度：

教師姓名	楊重光　教師諮商時間(Office Hours)
Email	ckyang@ntut.edu.tw
最後更新時間	2025-12-17 16:05:06
課程大綱	本課程係將整合個別半導體製造單元，併同現有半導體產業與未來發展趨勢的分析介紹，再輔以積體電路元件的設計原理，期使學生具備從製程、設備、元件原理等各方面獲得半導體製程的整合性觀念。 In this class, the semiconductor fabrication process is treated as a set of specified units. Incorporating the semiconductor industry and its future development trends, the knowledge of semiconductor theory and the fabrication details of each unit were integrated. The students will acquire comprehensive knowledge of semiconductor fabrication processes and device theories.
課程進度	(1) Semiconductor Industry overview (2)(3) IC Fundamentals/ IC Design (4) Fabrication of Si Wafer (5) (6) Chemical Vapor Deposition (7) (8) Physical Vapor Deposition (9) Mid-term examination (10) (11) Doping technology (thermal and ion implantation) (12) (13) Photolithograph (14) (15) Characterization techniques for semiconductor material properties (16) (17) IC Testing techniques (18) Final examination
評量方式與標準	45% Midterm exam 45% Final examination 10% Quiz and Reports
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：是 Text books: (1) Semiconductor Devices: Physics and Technology, 3rd Edition, Simon M. Sze, Ming-Kwei Lee (2) Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall, 1st edition (November 19, 2000), Michael Quirk
課程諮詢管道	Discussion in the class or use Microsoft Team
課程對應SDGs指標	SDG12：負責任的消費與生產（Responsible Consumption and Production）
課程是否導入AI	● 鼓勵學生使用生成式AI工具（Encourage students to use generative AI tools）
備註