課程編碼
Course Code
中文課程名稱
Course Name (Chinese)
英文課程名稱
Course Name (English)
總學分數
Credits
總時數
Hours
3004094 微機電工程與應用 MEMS technology 3.0 3
中文概述
Chinese Description
先修課程: 負責教授同意。本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料分類、主要製程技術介紹、CMOS-MEMS整合製造、封裝與測試技術、微感測器與微致動器、智慧型元件與SOC、工程應用實例介紹
英文概述
English Description
The course contents include concept and characteristics of MEMS, principles of micro system design, inter-disciplinary simulation and analysis, materials for MEMS, main-stream MEMS processing technologies, CMOS-MEMS process integration, package and test techniques, micro sensors and actuators, smart devices and SOC, and closure with a number of engineering applications.
核心能力指標 1.應用數學、科學及機械工程知識之能力
3.執行機械工程實務所需之技術、技能以及運用先進科技輔助工具之能力

備註: