課程編碼 Course Code | 中文課程名稱 Course Name (Chinese) | 英文課程名稱 Course Name (English) | 總學分數 Credits | 總時數 Hours |
---|---|---|---|---|
7815171 | 積體電路製程特論 | Special Topics in VLSI Processing Technology | 3.0 | 3 |
中文概述 Chinese Description | 本課程探討現今積體電路製程相關議題,並討論解決方法與技術發展趨勢。內容由淺入深包含製程模組如:晶圓製備、氧化、黃光微影、擴散、蝕刻、薄膜沉積、後段製程等,並深入探討為因應元件持續微縮而提出之先進製程整合技術。學生可了解半導體產業的應用,以作為進入半導體、光電、感測器等相關產業的先備知識。 | |||
英文概述 English Description | This course will introduce the semiconductor processing, including device basics, process flow, manufacturing, and process integration. The students will gain a thorough overview on semiconductor manufacturing technology before working in industry. |
備註: