課程編碼 Course Code | 中文課程名稱 Course Name (Chinese) | 英文課程名稱 Course Name (English) | 總學分數 Credits | 總時數 Hours |
---|---|---|---|---|
6504583 | 半導體製程技術導論 | Introduction to semiconductor manufacturing technology | 3.0 | 3 |
中文概述 Chinese Description | 導論、積體電路生產介紹、半導體基礎、晶圓製造、加熱製程、微影蝕刻、電漿的基礎原理、離子佈植、化學氣相沉積與介電質薄膜、金屬化製程、化學機械研磨、製程整合、CMOS 製程 | |||
英文概述 English Description | Introduction、Introduction to IC Fabrication、Semiconductor Basics、 Wafer Manufacturing、Thermal Processes、Photolithography and Etch、 Plasma Basics、Ion Implantation、CVD and Dielectric Thin Film、 Metallization、CMP 、Process Integration、CMOS Processes |
備註: