課 程 概 述
Course Description

課程編碼
Course Code
中文課程名稱
Course Name (Chinese)
英文課程名稱
Course Name (English)
總學分數
Credits
總時數
Hours
4007014 電腦輔助雷射干涉量測與校正技術 Computer aided laser interference measuring and correction 3.0 3
中文概述
Chinese Description
使用雷射干涉儀的原理對機械平台作1D線性、角度、旋轉軸、平坦度、垂直度。並進階到2D動態精度校正。本課程包含有干涉測量法、校正各式鏡組介紹、FFT頻譜分析、誤差補償。
英文概述
English Description
Correction of mechanic system with motion controlling by using laser interference solution, the technology would calibrate linear, angle, theta, horizontal/vertical flatness, 2D dynamic precision alignment. The course would introduce the theory of interference method, correction lens mounts, FFT frequency domain analysis, error compensation.

備註:

  1. 本資料係由本校各教學單位、教務處課務組、進修部教務組、進修學院教務組及計網中心所共同提供!
  2. 若您對課程有任何問題,請洽各開課系所。