課 程 概 述
Course Description

課程編碼
Course Code
中文課程名稱
Course Name (Chinese)
英文課程名稱
Course Name (English)
總學分數
Credits
總時數
Hours
4006001 微機電技術與應用 MEMS Technology and Applications 3.0 3
中文概述
Chinese Description
微加工程序含MUMPS,打樣、沉積、蝕刻;設計工具含MEMCAD, Matlab, EM software, and Ansys 等;應用例含壓力感測器、加速度計、探針卡、微波元件、生物晶片等;最後介紹封裝與測試技術。
英文概述
English Description
1. Introductions of Microsystem 2. Micromachining Processes include MUMPS, Pattern, Deposition, Etching 3. Design Tool include MEMCAD, Matlab, EM software, and Ansys 4.Applications include Pressure sensor, Accelerometer, …,etc, -probe card and other, RFMEMS, BioMEMS 5.Packaging and testing.

備註:

  1. 本資料係由本校各教學單位、教務處課務組、進修部教務組、進修學院教務組及計網中心所共同提供!
  2. 本資料僅供參考,正式資料仍以教務處、進修部、進修學院所公佈之書面資料為準。