課程編碼 Course Code | 中文課程名稱 Course Name (Chinese) | 英文課程名稱 Course Name (English) | 總學分數 Credits | 總時數 Hours |
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3315101 | 薄膜技術 | Thin Films Technology | 3.0 | 3 |
中文概述 Chinese Description | 本課程主要介紹薄膜製作有關的基礎理論與技術。講述內容包括真空技術,薄膜基礎,薄膜製作技術,蝕刻技術,薄膜評估方法以及薄膜技術的應用等。讓學生認識薄膜在高科技產業上的應用與其重要性,製作薄膜的方法與技術以及其未來的發展。 | |||
英文概述 English Description | This course is a special topics of Thin films technology and Thin film materials science. 2. Vacuum science and technology 3. Thin film evaporation processes 4. Discharge, plasma, and ion-surface interaction 5. Plasma and ion beam processing of thin films 6. Chemical vapor deposition 7. Substrate surfaces and thin film nucleation 8. Film structure 9. Characterization of thin films and surface 10. Interdiffusion, reactions, and transformations in thin films 11. Mechanical properties of thin films. |
備註: