課 程 概 述
Course Description

課程編碼
Course Code
中文課程名稱
Course Name (Chinese)
英文課程名稱
Course Name (English)
總學分數
Credits
總時數
Hours
3315101 薄膜技術 Thin Films Technology 3.0 3
中文概述
Chinese Description
本課程主要介紹薄膜製作有關的基礎理論與技術。講述內容包括真空技術,薄膜基礎,薄膜製作技術,蝕刻技術,薄膜評估方法以及薄膜技術的應用等。讓學生認識薄膜在高科技產業上的應用與其重要性,製作薄膜的方法與技術以及其未來的發展。
英文概述
English Description
This course is a special topics of Thin films technology and Thin film materials science. 2. Vacuum science and technology 3. Thin film evaporation processes 4. Discharge, plasma, and ion-surface interaction 5. Plasma and ion beam processing of thin films 6. Chemical vapor deposition 7. Substrate surfaces and thin film nucleation 8. Film structure 9. Characterization of thin films and surface 10. Interdiffusion, reactions, and transformations in thin films 11. Mechanical properties of thin films.

備註:

  1. 本資料係由本校各教學單位、教務處課務組、進修部教務組、進修學院教務組及計網中心所共同提供!
  2. 本資料僅供參考,正式資料仍以教務處、進修部、進修學院所公佈之書面資料為準。