課 程 概 述
Course Description

課程編碼
Course Code
中文課程名稱
Course Name (Chinese)
英文課程名稱
Course Name (English)
總學分數
Credits
總時數
Hours
3314132 薄膜科學與工程 Introduction to Thin Film Science and Engineering 3.0 3
中文概述
Chinese Description
課程內容包含薄膜材料科學,真空科學與技術,薄膜蒸鍍製程,放電、電漿、離子與表面作用,物理氣相沈積,化學氣相沈積,基材表面與薄膜成核,薄膜結構,薄膜性質測試,薄膜之相互擴散、反應與轉換,薄膜之機械性質。
英文概述
English Description
1. Thin film materials science 2. Vacuum science and technology 3. Thin film evaporation processes 4. Discharge, plasma, and ion-surface interaction 5. Plasma and ion beam processing of thin films 6. Chemical vapor deposition 7. Substrate surfaces and thin film nucleation 8. Film structure 9. Characterization of thin films and surface 10. Interdiffusion, reactions, and transformations in thin films 11. Mechanical properties of thin films

備註:

  1. 本資料係由本校各教學單位、教務處課務組、進修部教務組、進修學院教務組及計網中心所共同提供!
  2. 本資料僅供參考,正式資料仍以教務處、進修部、進修學院所公佈之書面資料為準。