| 課程編碼 Course Code | 中文課程名稱 Course Name (Chinese) | 英文課程名稱 Course Name (English) | 總學分數 Credits | 總時數 Hours |
|---|---|---|---|---|
| 3004094 | 微機電工程與應用 | MEMS technology | 3.0 | 3 |
| 中文概述 Chinese Description | 先修課程: 負責教授同意。本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料分類、主要製程技術介紹、CMOS-MEMS整合製造、封裝與測試技術、微感測器與微致動器、智慧型元件與SOC、工程應用實例介紹 | |||
| 英文概述 English Description | The course contents include concept and characteristics of MEMS, principles of micro system design, inter-disciplinary simulation and analysis, materials for MEMS, main-stream MEMS processing technologies, CMOS-MEMS process integration, package and test techniques, micro sensors and actuators, smart devices and SOC, and closure with a number of engineering applications. | |||
備註：