課程編碼 Course Code | 中文課程名稱 Course Name (Chinese) | 英文課程名稱 Course Name (English) | 總學分數 Credits | 總時數 Hours |
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3514017 | 薄膜技術 | Thin Films Technology | 2.0 | 2 |
中文概述 Chinese Description | 本課程主要介紹薄膜製作有關的基礎理論與技術。內容包括分子自我組成膜、LB膜、氣相化學沈積法、蒸鍍膜及濺鍍等。真空技術及電漿製程也將做簡略介紹。 | |||
英文概述 English Description | This course introduces the basic principles and techniques for thin film preparation. It includes self-assembly monolayer, Langmuir-Blodgett films, chemical vapor deposition, and sputter deposition. The vacuum technology and glow discharge technique are also discussed. |
備註: