Course Syllabus

Course Information：

Year-Semester Course Number Course Name Phase Credits Hours Required/Elective Instructor Class Student NO. Withdraw Note

Spring Semester
Year 2023 316381 MEMS technology 1 3.0 3 ★ CHIH-CHENG LU 4ME3A
4ME3B 30 1 機械三甲乙合開,限40人

Year-Semester	Course Number	Course Name	Phase	Credits	Hours	Required/Elective	Instructor	Class	Student NO.	Withdraw	Note
Spring Semester Year 2023	316381	MEMS technology	1	3.0	3	★	CHIH-CHENG LU	4ME3A 4ME3B	30	1	機械三甲乙合開,限40人

Course Plan：

Instructor CHIH-CHENG LU　Office Hours

Email cclu23@ntut.edu.tw

Last Updated 2022-12-22 19:02:32

Course Objective 先修課程: 負責教授同意。本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料分類、主要製程技術介紹、封裝與測試技術、微感測器與微致動器、工程應用實例介紹

Course Schedule 1. 概述 2. 微機電系統與微系統概論 3. 微系統的工作原理 4. 微系統設計和製造的工程科學 5. 微系統工程力學 6. 熱流工程和微系統設計 7. 微小化的縮放律 8. 微機電系統和微系統用材料 9. 期中考 10. 微系統設計 11. 微製造技術 12. 微機電系統製程介紹 13. 微系統封裝 14. 實習 – 微蝕刻製程 15. 實習 – 光微影製程 16. 實習 – MEMS模擬技術 17. 期末報告

Evaluation and grading policy 期中考 : 40 % 期末報告: 40 % 實習與上課表現: 20 %

Materials All right reserved. Do not reproduce without permission.

Foreign-language textbooks:No
Tai-Ran Hsu, MEMS & Microsystems Design and Manufacture，McGraw-Hill, ISBN-978-957-493-7769. (中文版) 微機電系統與微系統設計與製造

The access to curricular consultation 本課程將以北科i學園plus做為課程輔助網頁，並另設line群方便同學聯繫與討論。

The course corresponds to the SDGs

Note
1.如有加退選或課程問題請寄email給老師(cclu23@mail.ntut.edu.tw)。
2.因應COVID-19疫情可能會調整授課方式、進度與評量方式。若無法實體上課，預計使用Google Meet於原定上課時間遠距上課，細節將再另行公布。

Instructor	CHIH-CHENG LU　Office Hours
Email	cclu23@ntut.edu.tw
Last Updated	2022-12-22 19:02:32
Course Objective	先修課程: 負責教授同意。本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料分類、主要製程技術介紹、封裝與測試技術、微感測器與微致動器、工程應用實例介紹
Course Schedule	1. 概述 2. 微機電系統與微系統概論 3. 微系統的工作原理 4. 微系統設計和製造的工程科學 5. 微系統工程力學 6. 熱流工程和微系統設計 7. 微小化的縮放律 8. 微機電系統和微系統用材料 9. 期中考 10. 微系統設計 11. 微製造技術 12. 微機電系統製程介紹 13. 微系統封裝 14. 實習 – 微蝕刻製程 15. 實習 – 光微影製程 16. 實習 – MEMS模擬技術 17. 期末報告
Evaluation and grading policy	期中考 : 40 % 期末報告: 40 % 實習與上課表現: 20 %
Materials	All right reserved. Do not reproduce without permission. Foreign-language textbooks:No Tai-Ran Hsu, MEMS & Microsystems Design and Manufacture，McGraw-Hill, ISBN-978-957-493-7769. (中文版) 微機電系統與微系統設計與製造
The access to curricular consultation	本課程將以北科i學園plus做為課程輔助網頁，並另設line群方便同學聯繫與討論。
The course corresponds to the SDGs
Note	1.如有加退選或課程問題請寄email給老師(cclu23@mail.ntut.edu.tw)。 2.因應COVID-19疫情可能會調整授課方式、進度與評量方式。若無法實體上課，預計使用Google Meet於原定上課時間遠距上課，細節將再另行公布。