Course Syllabus

Course Information：

Year-Semester	Course Number	Course Name	Phase	Credits	Hours	Required/Elective	Instructor	Class	Student NO.	Withdraw	Note
Spring Semester Year 2026	354010	Special subjects for intelligent factory (II)	1	3.0	3	★	LEE,YEE-TING Yuan-Jen Chang Tseng, Shih-Feng	4ME3A 4ME3B	40	0	機械三甲和機械三乙合開

Course Plan：

Instructor	Yuan-Jen Chang　Office Hours
Email	yjchang@ntut.edu.tw
Last Updated	2025-12-19 09:52:40
Course Objective	本課程涵蓋兩部分: 基礎知識講解與實驗課程 基礎知識講解包含: 1. 現代半導體製程：本課程旨在讓學生建立半導體製程的基礎知識，並深入了解晶圓製造過程中的關鍵技術，包括微影製程、蝕刻技術、熱製程、化學氣相沉積、摻雜技術及金屬化與互連技術。 2. 電子散熱溫控技術：本課程旨在介紹目前電子散熱溫控技術的基本原理與模擬應用。學生將學習電子散熱、控制機制及其在熱管理中的應用。 實驗課程包含: 1. 雷射加工技術應用於雷射鑽孔，使用五軸高精密飛秒雷射設備於晶圓後段檢測量測元件之微孔加工。 2. 半導體製程中的應用，特別是與微氣泡技術和氮氧化物（NOx）去除技術的結合。
Course Schedule	第1週 2/27 停課 2/27和平紀念日補假 第2週 3/6 現代半導體製程 ：半導體基礎與晶圓製造技術 第3週 3/13 現代半導體製程：微影製程 /蝕刻技術 第4週 3/20 現代半導體製程： Thermal Process / CVD 第5週 3/27 現代半導體製程： 摻雜技術 / 金屬化與互連技術 第6週 4/3 停課 4/3清明節補假 第7週 4/10 電子散熱溫控技術 第8週 4/17 電子散熱溫控技術 第9週 4/24 電子散熱溫控技術 第10週 5/1 停課 5/1勞動節 第11週 5/8 真空電漿散熱溫控技術 第12週 5/15 實驗 PBL總整課程： 半導體探針卡之超快雷射鑽孔 第13週 5/22 實驗 PBL總整課程： 半導體探針卡之超快雷射鑽孔 第14週 5/29 實驗 PBL總整課程： 半導體探針卡之超快雷射鑽孔 第15週 6/5 實驗 PBL總整課程： 半導體晶圓清洗設備 第16週 6/12 實驗 PBL總整課程： 半導體晶圓清洗設備 第17週 6/19 停課 6/19端午節 第18週 6/26 實驗 PBL總整課程： 半導體晶圓清洗設備
Evaluation and grading policy	出席, 小考, 實驗報告為主
Materials	All right reserved. Do not reproduce without permission. Foreign-language textbooks:No 課程簡報
The access to curricular consultation	i學園, Email
Expanding teaching and resources
The course corresponds to the SDGs	SDG4：優質教育（Quality Education） SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
Does the course incorporate AI	● 無（None）
Note