Course Syllabus

Course Information：

Year-Semester Course Number Course Name Phase Credits Hours Required/Elective Instructor Class Student NO. Withdraw Note

Fall Semester
Year 2026 360773 Integrated Circuit Fabrication Process 1 3.0 3 ★ LIN HWAI EN 4ME4A
4ME4B 50 0 機械四甲乙合開

Year-Semester	Course Number	Course Name	Phase	Credits	Hours	Required/Elective	Instructor	Class	Student NO.	Withdraw	Note
Fall Semester Year 2026	360773	Integrated Circuit Fabrication Process	1	3.0	3	★	LIN HWAI EN	4ME4A 4ME4B	50	0	機械四甲乙合開

Course Plan：

Instructor LIN HWAI EN　Office Hours

Email linhe@ntut.edu.tw

Last Updated 2026-06-02 15:49:48

Course Objective 積體電路為現今社會最重要之高科技產業，本課程將提供學生半導體材料、物理性質、製程原理及元件架構等之基本概念，課程內容共分為三個部分：(1) 半導體材料與物理、(2) 半導體元件及基本概念、(3) 積體電路重要製程與設備。 Integrated circuits are among the most important high-technology industries in modern society. This course provides students with fundamental concepts related to semiconductor materials, physical properties, fabrication principles, and device structures. The course content is divided into 3 main sections: (1) Semiconductor Materials & Physics, (2) Semiconductor Devices and Fundamental Concepts, (3) Key Integrated Circuit Fabrication Processes and Equipment.

Course Schedule 第1週 09/10 課程內容簡介 Course Overview 第2週 09/17 晶體結構與矽半導體物理特性、半導體能帶與載子傳輸 Crystal structures & physical properties of silicon semiconductors, semiconductor energy bands & carrier transport 第3週 09/24 化合物半導體晶體結構與物理特性、半導體基礎元件 Crystal structures & physical properties of compound semiconductors, fundamental semiconductor devices 第4週 10/01 半導體基礎元件、接面能帶圖與費米能階、積體電路製程與佈局 Fundamental semiconductor devices, basic semiconductor devices, junction energy band diagrams, & Fermi energy levels, IC fabrication processes & layout design 第5週 10/08 半導體元件縮小化與先進奈米元件、高速與高功率元件 Semiconductor device scaling & advanced nanoscale devices, high-speed & high-power semiconductor devices 第6週 10/15 半導體光電元件 Semiconductor optoelectronic devices 第7週 10/22 矽晶棒生長、矽晶圓製作 Si crystal growth & wafer fabrication 第8週 10/29 矽磊晶生長、矽磊晶系統 Si epitaxial growth & epitaxial systems 第9週 11/05 期中考Middle examination 第10週 11/12 化合物半導體晶棒生長、化合物半導體磊晶生長 Compound semiconductor crystal growth & epitaxial growth 第11週 11/19 矽氧化膜生長、矽氧化膜生長機制 Growth mechanisms of silicon oxide films 第12週 11/26 擴散理論、離子佈植 Diffusion theory & ion implantation 第13週 12/03 微影技術 Photolithography technology 第14週 12/10 蝕刻技術 Etching technology 第15週 12/17 氣相沉積技術 Vapor deposition technology 第16週 12/24 實務案例討論(1) Case study (1) 第17週 12/31 實務案例討論(2) Case study (2) 第18週 01/07 期末考Final examination

Evaluation and grading policy 1.Participation 出席成績 (20%) 2.Midterm examination期中考 (40%) 3.Final examination期末考 (40%)

Materials All right reserved. Do not reproduce without permission.

Foreign-language textbooks:No
李克駿、李克慧、李明逵，半導體製程概論，第四版，全華圖書，2021/09

The access to curricular consultation 同學如對課程有問題可於課程中提出，或是在下課時間詢問。
此外也可以下列方式聯絡老師諮詢：
1. 以電子郵件聯絡老師，老師信箱linhe@mail.ntut.edu.tw
2. 登入課程Zuvio IRS系統，於回饋討論留言聯絡老師

Expanding teaching and resources ● 無 (None)

The course corresponds to the SDGs SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）

Does the course incorporate AI ● 鼓勵學生使用生成式AI工具（Encourage students to use generative AI tools）

Note
　

Instructor	LIN HWAI EN　Office Hours
Email	linhe@ntut.edu.tw
Last Updated	2026-06-02 15:49:48
Course Objective	積體電路為現今社會最重要之高科技產業，本課程將提供學生半導體材料、物理性質、製程原理及元件架構等之基本概念，課程內容共分為三個部分：(1) 半導體材料與物理、(2) 半導體元件及基本概念、(3) 積體電路重要製程與設備。 Integrated circuits are among the most important high-technology industries in modern society. This course provides students with fundamental concepts related to semiconductor materials, physical properties, fabrication principles, and device structures. The course content is divided into 3 main sections: (1) Semiconductor Materials & Physics, (2) Semiconductor Devices and Fundamental Concepts, (3) Key Integrated Circuit Fabrication Processes and Equipment.
Course Schedule	第1週 09/10 課程內容簡介 Course Overview 第2週 09/17 晶體結構與矽半導體物理特性、半導體能帶與載子傳輸 Crystal structures & physical properties of silicon semiconductors, semiconductor energy bands & carrier transport 第3週 09/24 化合物半導體晶體結構與物理特性、半導體基礎元件 Crystal structures & physical properties of compound semiconductors, fundamental semiconductor devices 第4週 10/01 半導體基礎元件、接面能帶圖與費米能階、積體電路製程與佈局 Fundamental semiconductor devices, basic semiconductor devices, junction energy band diagrams, & Fermi energy levels, IC fabrication processes & layout design 第5週 10/08 半導體元件縮小化與先進奈米元件、高速與高功率元件 Semiconductor device scaling & advanced nanoscale devices, high-speed & high-power semiconductor devices 第6週 10/15 半導體光電元件 Semiconductor optoelectronic devices 第7週 10/22 矽晶棒生長、矽晶圓製作 Si crystal growth & wafer fabrication 第8週 10/29 矽磊晶生長、矽磊晶系統 Si epitaxial growth & epitaxial systems 第9週 11/05 期中考Middle examination 第10週 11/12 化合物半導體晶棒生長、化合物半導體磊晶生長 Compound semiconductor crystal growth & epitaxial growth 第11週 11/19 矽氧化膜生長、矽氧化膜生長機制 Growth mechanisms of silicon oxide films 第12週 11/26 擴散理論、離子佈植 Diffusion theory & ion implantation 第13週 12/03 微影技術 Photolithography technology 第14週 12/10 蝕刻技術 Etching technology 第15週 12/17 氣相沉積技術 Vapor deposition technology 第16週 12/24 實務案例討論(1) Case study (1) 第17週 12/31 實務案例討論(2) Case study (2) 第18週 01/07 期末考Final examination
Evaluation and grading policy	1.Participation 出席成績 (20%) 2.Midterm examination期中考 (40%) 3.Final examination期末考 (40%)
Materials	All right reserved. Do not reproduce without permission. Foreign-language textbooks:No 李克駿、李克慧、李明逵，半導體製程概論，第四版，全華圖書，2021/09
The access to curricular consultation	同學如對課程有問題可於課程中提出，或是在下課時間詢問。此外也可以下列方式聯絡老師諮詢： 1. 以電子郵件聯絡老師，老師信箱linhe@mail.ntut.edu.tw 2. 登入課程Zuvio IRS系統，於回饋討論留言聯絡老師
Expanding teaching and resources	● 無 (None)
The course corresponds to the SDGs	SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure）
Does the course incorporate AI	● 鼓勵學生使用生成式AI工具（Encourage students to use generative AI tools）
Note