Course Syllabus

Course Information：

Year-Semester	Course Number	Course Name	Phase	Credits	Hours	Required/Elective	Instructor	Class	Student NO.	Withdraw	Note
Fall Semester Year 2026	362966	Semiconductor molecular materials and fabrication testing	1	2.0	2	★	Lee Yi-huan Lin,Chun-Che	4MSE1 4ET1	92	0	分子一和工程一合開，80人教室

Course Plan：

Instructor	Lee Yi-huan　Office Hours
Email	yihuanlee@ntut.edu.tw
Last Updated	2026-08-18 17:01:39
Course Objective	本課程分為三大重點：(1) 製程涵蓋：半導體基礎原理、晶圓製造、加熱製程、蝕刻製程、化學氣相沉積、金屬化製程、製程整合技術。(2) 分析涵蓋：晶相結構分析、奈米3D顯微形貌表面形態分析、原子力顯微鏡。(3) 業界講師共同授課並分享產業為來發展趨勢。 The course is divided into three main points: (1) The fabrication: basic principles of semiconductor, wafer manufacturing, heating process, etching process, chemical vapor deposition, metallization process, and process integration technology. (2) Analysis: crystal structure analysis, nano 3D micro-topography and surface morphology analysis, atomic force microscope. (3) Industry lecturers teach and share industry trends in the future.
Course Schedule (Week 1-16)	第1週 (9/7-9/11, 2026) 導論 第2週 (9/14-9/18, 2026) 半導體分子材料-1 第3週 (9/21-9/25, 2026) 半導體分子材料-2 第4週 (9/28-10/2, 2026) 化學氣相沉積-1 第5週 (10/5-10/9, 2026) 化學氣相沉積-2 第6週 (10/12-10/16, 2026) 半導體製程與應用-1 第7週 (10/19-10/23, 2026) 半導體製程與應用-2 第8週 (10/26-10/30, 2026) 期中考 第9週 (11/2-11/6, 2026) 業界實務講習 第10週 (11/9-11/13, 2026) 蝕刻製程-1 第11週 (11/16-11/20, 2026) 蝕刻製程-2 第12週 (11/23-11/27, 2026) 分析技術與應用-1 第13週 (11/30-12/4, 2026) 分析技術與應用-2 第14週 (12/7-12/11, 2026) 製程整合技術-1 第15週 (12/14-12/18, 2026) 製程整合技術-2 第16週 (12/21-12/25, 2026) 期末考 第17週 (12/28-1/1, 2027) 業界實務講習 第18週 (1/4-1/8, 2027) 半導體材料課程心得報告
Flexible Learning (Week 17-18)	Category ● 學生分組實作及討論(Student group practice and discussion) ● 證照培訓與專業講習(Certificate training and professional lectures) Content 第17週 (12/28-1/1, 2027) 業界實務講習 第18週 (1/4-1/8, 2027) 半導體材料課程心得報告 Hours 4 Learning Outcomes (1) 學生須於原上課時間全程參與業界實務講習。 (2) 各組學生須於第18週上課講述半導體材料課程心得報告。 Assessment Percentage (1) 業界實務講習出席 (包含在class attendance) (2) 半導體材料課程心得報告 (包含在homework)
Evaluation and grading policy	Class attendance and homework (20%) Midterm exam (40%) Final Exam (40%)
Materials	All right reserved. Do not reproduce without permission. Foreign-language textbooks:Yes 1. 半導體製造技術與管理 (簡富; 清華大學出版) 2. Handbook of Microscopy for Nanotechnology (N. Yao and Z. L. Wang; KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS)
The access to curricular consultation	若有任何有關此課程的問題，請寄信至: yihuanlee@mail.ntut.edu.tw
Expanding teaching and resources	● 無 (None)
The course corresponds to the SDGs	無（None）
Does the course incorporate AI	● 無（None）
Note