Course Syllabus

Course Information：

Year-Semester	Course Number	Course Name	Phase	Credits	Hours	Required/Elective	Instructor	Class	Student NO.	Withdraw	Note
Fall Semester Year 2026	363565	MEMS Technology and Applications	1	3.0	3	★	CHIH-CHENG LU	GME	7	0	限40人

Course Plan：

Instructor	CHIH-CHENG LU　Office Hours
Email	cclu23@ntut.edu.tw
Last Updated	2026-06-08 19:59:39
Course Objective	本課程目的在介紹蓬勃發展中的微機電系統(micro-electro-mechanical systems, MEMS)工程與最新應用。其內容包括 : MEMS之概念與特性、微觀設計原則、跨領域模擬分析、加工材料特性、主要製程技術介紹、主流微感測器與致動器介紹、工程應用實例介紹等。
Course Schedule	1. Introduction 2. Micromachining 3. Materials and system modeling 4. Simulation on micro- and nano-system design 5. Passive components and SOC 6. Performance indices of MEMS 7. Nanotechnology and MEMS 8. Mid-term (期中考) 9. Mechnical sensors and actuators 10. Thermal sensors and actuators 11. Micro-opto-electromechanical systems (MOEMS) 12. Microfluidic systems 13. Bio-chemical sensors and microsystems 14. Magnetic sensors and actuators 15. RF-MEMS 16. Final-term report Due (期末技術報告) 17. Group discussion session I 18. Group discussion session II
Evaluation and grading policy	期中考(exam) : 30 % 期末專題技術報告(report): 40 % 簡報、討論與作業(presentation, group discussion and homework): 30 %
Materials	All right reserved. Do not reproduce without permission. Foreign-language textbooks:Yes 教科書 (Textbook) 1. Chang Liu, Foundations of MEMS (微機電系統原理與應用) , 黃義佑校閱，高立圖書，ISBN 978-986-412-543-2.
The access to curricular consultation	授課教師 : 呂志誠 地點 : 綜合科館 326室 諮詢時間: 每週一下午2-5點、每週五下午1- 4點
Expanding teaching and resources	● 數位教材資源應用 (Application of Digital Resources) 採用影音多媒體或具開放授權之資源（如OCW、開放教科書）作為主要或輔助教材。 Adopts multimedia or open-licensed resources (e.g., OCW, Open Textbooks) as primary or supplementary teaching materials.
The course corresponds to the SDGs	SDG3：良好健康和福祉（Good Health and Well-being） SDG4：優質教育（Quality Education） SDG6：潔淨水與衛生（Clean Water and Sanitation） SDG7：可負擔的潔淨能源（Affordable and Clean Energy） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure） SDG11：永續城市與社區（Sustainable Cities and Communities） SDG12：負責任的消費與生產（Responsible Consumption and Production）
Does the course incorporate AI	● 鼓勵學生使用生成式AI工具（Encourage students to use generative AI tools）
Note	彈性學習/Flexible Learning : 17 至 18 週彈性學習內容: 一、類別 (可複選) 學生分組實作及討論 二、內容 (1)第 17 週:各組提交自選MEMS技術報告,全班參與 Q&A 提問討論。 (2)第 18 週:針對 17 週各組報告及課堂提問,各組在課堂中用 15 分鐘進行簡報。 三、時數 總共 6 小時。 四、學習成果 第 18 週下課前需繳交MEMS技術簡報。 五、評量比例 (1) 報告與簡報 : 20%