Course Syllabus

Course Information：

Year-Semester	Course Number	Course Name	Phase	Credits	Hours	Required/Elective	Instructor	Class	Student NO.	Withdraw	Note
Spring Semester Year 2025	350839	Tool Introduction in Semiconductor	1	2.0	2	★	PAI-YU TSENG	CMEE(G)	33	0	密集授課,至台積電,詳教學大綱

Course Plan：

Instructor	PAI-YU TSENG　Office Hours
Email	stephen@ntut.edu.tw
Last Updated	2025-05-28 16:59:53
Course Objective	協助學員在完成訓練後: 1.對半導體機台的設計原理、操作與預防保養有基礎的概念。 2.對半導體設備實務工作有初步的了解。 3.能結合學校所學理論與產業實務。 After completing the training, the trainees will: 1.Know the basic concept of the design principle, operation and preventive maintenance about semiconductor tools. 2.Have a preliminary understanding of what an equipment engineer does in Fab. 3.Be able to combine the theories learned from the school with industrial practices.
Course Schedule	本課程由台積電訓練中心(位於台中)提供課程設備，實際授課內容視該期可用設備由台積電調整。每一梯次受訓四天，本學期為3/2開始，每天課程範例如下： Day 1 1.System overview 2.Mainframe configuration 3.Process module 4.Utility connection 5.Sub system 6.Safety 7.Tool on site inspection Day 2 1.RF delivery system 2.Gas delivery system 3.Pressure servo system 4.ESC system 5.Backside He system 6.Temperature system 7.Chamber design evolution 8.EPD system introduction 9.Software operation overview Day 3 1.S/W operation main platform 2.S/W operation processmodule 3.S/W operation data access 4.Mainframe outline 5.Mainframe service function 6.Mainframe maintenance 7.Maintenance practice and certification Day 4 1.Chamber outline and PM preparation 2.Process kits disassembling 3.Process kits cleaning and inspection 4.Process kits installation 5.PM practice 原則上周六早上6點由本校出發，課程結束約六點由台中出發返校。統一提供交通運輸。遲到無法等待，視同缺課。
Evaluation and grading policy	成績評量由台積電訓練中心提供通過與否及訓練成績做為參考依據。成績包含訓練成果筆試與上課表現，經台積電提供相關成績後再由本校進行等第成績計算。 缺課一次即無法完成訓練課程將無法取得課程學分，與台積電是否發予結訓證明無關。
Materials	All right reserved. Do not reproduce without permission. Foreign-language textbooks:Yes 台積電自製內部教材
The access to curricular consultation	上課時間向台積電專業人員諮詢
Expanding teaching and resources
The course corresponds to the SDGs	SDG4：優質教育（Quality Education） SDG8：尊嚴就業與經濟發展（Decent Work and Economic Growth） SDG9：產業創新與基礎設施（Industry, Innovation and Infrastructure） SDG12：負責任的消費與生產（Responsible Consumption and Production） SDG17：夥伴關係（Partnerships for the Goals）
Does the course incorporate AI	● 無（None）
Note	本課程施作方式依照台積電內部管理方式進行，因無法補課且牽涉公司內部商業機密，無法提供線上教材。個人缺席無法補課，如公司因疫情停課，會另尋時間開設。 加選前請務必先跟教務處謝小姐確認有台積電的名額，以無法前往受訓完成課程。 https://oaa.ntut.edu.tw/p/412-1008-17218.php?Lang=zh-tw