教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
102-1	178368	IC 製程	1	3.0	3	★	王木俊	四機四乙 四機四丙	32	1

教學大綱與進度：

教師姓名	王木俊
Email	mucwang@must.edu.tw
最後更新時間	2013-06-28 08:35:10
課程大綱	先修課程：負責教授同意。 瞭解基本半導體材料、二極體、電晶體的原理、邏輯IC、記憶體IC等，並介紹諸如物理沈積(PVD)、化學沈積(CVD)、高溫處理、微影、蝕刻及其相關設備介紹、廠物、維修、管理及工安等。也引進部分先進奈米製程技術之介紹。
課程進度	Week Course Contents 01 Introduction to semiconductor industry 02 Introduction to IC fabrication 03 Diffusion module 04 Thin-film module 05 Thin-film module 06 Photolithography 07 Etch 08 Etch 09 Mid-term exam. 10 High-k dielectric process (I): material and integrated process 11 High-k dielectric process (I): material and integrated process 12 High-k dielectric process (II): applications 13 Strained process 14 Strained process 15 SOI process 16 New-generation logic process applications 17 3-D IC process 18 Final exam
評量方式與標準	Grading: 1. Midterm Exam.: 20% 2. Final Exam: 30% 3. Quiz: 50% Textbook: 新世代積體電路製程技術, 2011 (by 鄭晃忠等 東華書局 02-23890906)
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：　 1. VLSI Technology by S.M. Sze 2. ULSI Technology by C.Y. Chang and S.M. Sze 3. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology by Hong Xiao (中譯本: 半導體製程技術導論) 4. Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk 5. Microchip Fabrication by Peter Van Zant 6. Semiconductor Integrated Circuit Processing Technology by W.R. Runyan & K.E. Bean 7. Silicon VLSI Technology--- Fundamentals, Practice and Modeling by James D. Plummer 8. 半導體工程---先進製程與模擬 by 羅正忠等 9. ULSI製程技術 by 劉博文 10. 基礎IC技術--- 應用設計與製造 by 莊達人 11. 劉傳璽/陳進來 2006”半導體元件物理與製程整合---理論與實務”
課程諮詢管道
備註