教學大綱與進度

課程基本資料：

學年期	課號	課程名稱	階段	學分	時數	修	教師	班級	人	撤	備註
99-1	142230	先進半導體製程	1	3.0	3	★	陳雙源	職機電所 職製科所	20	0

教學大綱與進度：

教師姓名	陳雙源
Email	sychen@ntut.edu.tw
最後更新時間	2010-08-25 10:58:36
課程大綱	先修課程：無。 本課程著重於半導體各製程技術之學習。課程內容包括：加熱、微影、離子佈植、蝕刻、CVD、PCV、CMP、製程整合技術。
課程進度	1週 導論(1) 2週 生產簡介(2) 3週 半導體基礎(3) 4週 晶圓製造(4) 5週 加熱製程(5) 6週 加熱製程(5) 7週 微影製程(6) 8週 電漿原理(7) 9週 期中考 10週 離子佈植(8) 11週 蝕刻(9) 12週 CVD(10) 13週 CVD(10) 14週 PVD(11) 15週 CMP(12) 16週 製程整合(13) 17週 先進CMOS製程(14) 18週 期末考
評量方式與標準	期中、期末及平常(點名及報告)，各1/3
使用教材、參考書目或其他	【遵守智慧財產權觀念，請使用正版教科書，不得使用非法影印教科書】 使用外文原文書：　 Textbook: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology by Hong Xiao 或及中譯本：半導體製程技術導論
課程諮詢管道
備註